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干涉仪配置: Twyman–Green Interferometer 光源: 632 nm or 633nm, 355nm, 532nm, 1053nm, 1064nm, 1550nm, 10.6um 输出极化: Circular 有效值重复性: <0.001 waves 有效值精度: <0.002 waves
与传统的Fizeau仪器相比,Twyman-Green配置干涉仪具有几个重要的优势:振动不敏感测量可在具有挑战性的环境中使用,如Cryo-Vac测试或长测量路径。设计可以非常紧凑,可在狭小空间或难以接近的位置使用。轴上设计可提供出色的精度,尤其是在测量球形元件时。测试和参考之间的功率比以无损方式调整。PhaseCam动态Twyman-Green激光干涉仪可提供高分辨率测量,即使振动和空气湍流Dynamic Interferometry®使PhaseCams能够在30微秒内捕获完整的波前测量结果,比传统的相移干涉仪快5000倍。PhaseCams结构紧凑,重量轻,使重新配置测试设置变得简单和容易,无需振动隔离。PhaseCam激光干涉仪非常适合大直径光学元件的计量、生产车间质量控制、通常受气流湍流阻碍的洁净室应用、远程操作必不可少的环境室以及移动部件(如可变形反射镜、旋转磁盘或振动膜)的模态分析。
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干涉仪配置: Not Specified 光源: Not Specified 输出极化: Not Specified 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not Specified
QIS干涉仪完全由QED技术公司设计、制造和建造。它针对拼接进行了优化,使客户能够测量更多零件,并提高了精度、速度和易用性。QED的QIS集成了硬件和软件功能,旨在增强QED计量产品的性能。专有的QIS相干成像系统允许用户获得更高的条纹密度和更大的对比度。QIS先进的光学设计减少了常见的误差,如回扫和放大误差。此外,QIS提供的更大的焦点行程允许测量比通用干涉仪更短半径的零件。QIS也使用与QED的Q-Flex™MRF™系统相同的软件平台QED.NET进行设计。这使得系统之间的无缝通信成为可能。新的1920 X 1920像素,高分辨率相机可以提高点测量能力。这意味着您可以更准确地表征MRF移除函数,使您能够做出更好的制造工艺决策,并更快、更准确地实现收敛。
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干涉仪配置: Fizeau Interferometer 光源: Not Specified 输出极化: Circular, Elliptical, Random 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not Specified
Zygo的新型VeriFire HDX干涉仪专为极高性能光学元件和系统的中间空间频率成分表征而设计和制造。该系统包括广受欢迎的VeriFire HD的所有强大功能(如QPSI和长寿命稳定激光器),并增加了重要的增强功能,如新的同类较佳成像和高仪器传递函数(ITF)分辨率、中间空间频率内容和高斜率表面偏差的卓越特性,以及Zygo的DynaPhase®动态采集技术(可选),该技术可消除振动引起的问题,并在几乎任何环境中实现精密计量。
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类型: Twynman-Green Interferometer 测量类型: Shape, Phase (wavefront), Reflectivity 波长: 632.8 nm 目标形状: 2D, 3D 聚焦范围: ± 12.5 mm
4D Technology的PhaseCam 6010是一款动态Twyman-Green干涉仪,工作波长为632.8 nm.它有一个400万像素的摄像头,可对所有内部功能进行全电动控制,并可对光路测量进行轴上照明和成像。该圆偏振干涉仪具有光纤耦合头和激光源模块,可提供1.5 MW的输出功率,并在FWHM下产生直径为7 mm的光束。PhaseCam 6010具有动态干涉测量技术,该技术使用单个相机高速光学相位传感器在小于30&μs的时间内进行波前测量。该干涉仪的采集速率超过15帧/秒,可在几乎任何条件下使用,无需隔振。PhaseCam 6010功耗高达750 W,采用尺寸为18 X 16.2 X 9.1 cm(测量头)的封装,配有48.3 X 20.3 X 11.9 cm激光源。它是米级望远镜光学系统、大型成像系统校准、真空和环境室测试、测试计算机生成全息图和生产车间质量控制应用的理想选择。
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类型: Laser Interferometer 测量类型: Thickness, Length 波长: 632.8 nm 应用: Dimension Measurement, Gage Block Measurement
普惠测量系统公司(Pratt&Whitney Measurement Systems)的LMS200是一种激光干涉仪,通过将测量探头位置与632.8nm红色氦氖激光光源的波长进行比较来测量内部和外部尺寸。该专利激光路径与测量轴一致,消除了阿贝误差。它有一个花岗岩底座,其热膨胀系数比钢小十倍以上,使该干涉仪成为高度稳定的测量源。该干涉仪的精度为0.05+0.5Lµm,重复性为0.04µm.它的测量范围高达200 mm,直接读数范围为200 mm.LMS200干涉仪有一个碳化钨平板(1/10波)测量探头,带有Ø0.25金刚石尖端。探头是电动和远程控制的,以提高系统稳定性并消除操作员的影响。它可以测量最大尺寸为293 X 203 mm的样品,并具有14克的探针接触力。该干涉仪具有两步校准功能,这是一种先进的省时功能,允许使用两个实验室级别的可追踪量块进行校准,从开始到结束仅需30秒。它可以在直接读取或比较器模式下工作,并具有可编程自动循环功能,支持用户定义的恒定吞吐速率。该干涉仪根据命令存储所有测量结果的总和,并可显示统计数据,指示计算的平均值和一个标准偏差。LMS200需要110/120至220/240 V的交流电源,并消耗1-2 A的电流。它采用尺寸为56 X 41 X 79 cm的封装,非常适合测量球/球体、磁带/磁盘基板、光学元件、聚乙烯薄膜、量块/滑规、涂层厚度标准、塞规和销规、丝线、薄膜厚度、量块堆叠、网格厚度、纺织品和精密零件。
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类型: Multiple Axis Interferometer 目标形状: 2D, 3D 应用: Plane Mirror Measurement
是德科技(Keysight Technologies)的E1715A是一款专为现代激光计量系统设计的3轴干涉仪。它基于Keysight先进的单片光学设计技术,具有高指向稳定性。该干涉仪集成了带有ST连接器的远程传感器,无需单独安装远程传感器。它的光学分辨率为λ/4,采用平面镜,输出效率为18%。该干涉仪产生直径为4 mm的光束,平行角小于25μrad(轴1-2和轴1-3),并且相对于加工基准具有出色的光束角精度。除标准配置外,E1715A还有三个可选版本-一个不包括远程传感器,一个包括输入弯折镜,第三个版本结合了这两个选项。它采用紧凑的不锈钢外壳,尺寸为68 X 55 X 44 mm,输出耦合到400微米塑料或玻璃光纤,配有ST连接器,NA为0.39。
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类型: Fizeau Interferometer 波长: 633 nm 聚焦范围: ± 2.5 m, ± 5.5 m 应用: Surface Measurement
Zygo公司的VeriFire是一款Fizeau干涉仪,具有专利的QPSI采集功能,并配有一个160 Hz的摄像机,可提供1200 X 1200像素的分辨率。它有一个有线和无线遥控编码焦点可切换偏振套件,具有1-5倍的光学放大倍率。该干涉仪具有633nm高功率稳定HeNe激光源,其产生最小3mW的IIIA类偏振输出。它的测试光束直径为4或6英寸,光学中心线为4.25英寸。该干涉仪需要81-188ms的采集时间,4英寸的光瞳聚焦范围为±2.5m,6英寸的光瞳聚焦范围为±5.5m.它可以通过高性能戴尔PC、Windows 1064位、MX™软件进行控制,并具有水平或垂直安装配置。VeriFire具有3种数据采集模式,即PSI(时间相移干涉测量法)、QPSI(振动稳健的时间相移干涉测量法)和可选的DynaPhase(振动不敏感的瞬时干涉测量)。它有一个带双点分划板的快速条纹采集系统(QFAS),需要100-240 V的交流电源。它采用尺寸为69 X 31 X 34 cm(4英寸)或92 X 31 X 34 cm(6英寸)的封装,是反射光学器件、透明光学器件和成像系统的理想选择。