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干涉仪配置: Twyman–Green Interferometer 光源: 632 nm or 633nm, 355nm, 532nm, 1053nm, 1064nm, 1550nm, 10.6um 输出极化: Circular 有效值重复性: <0.00005 waves 有效值精度: <0.0005 waves
Accufiz Fizeau干涉仪提供无与伦比的性能、质量和价值组合,用于精确、可重复测量表面形状和透射波前质量。Accufiz激光干涉仪非常容易在有限的实验室空间中使用。紧凑、轻便的设计具有极高的刚性,可在任何方向或环境中实现较大的稳定性。波长范围为355 nm至1.064µm,孔径范围为33至800 mm,采用水平和垂直安装配置,为各种应用和预算提供了合适的选择。可选的600万像素高分辨率相机可捕捉任何商用干涉仪的较高斜率。测量非球面、自由曲面光学元件和高度像差元件。可选的表面隔离源(SIS)增加了测量平面平行光学器件的能力,无需涂层或背面处理以消除不必要的反射。在薄至300µm的光学器件上量化形状光学厚度、透射波前误差和均匀性。
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光源类型: Pulsed LED 光源波长: 460nm 样品反射率: 1 - 100 % 垂直范围: 115nm 有效值重复性: <0.005 nm
NanoCam SQ动态光学轮廓仪可测量超光滑光学和精密表面的表面粗糙度。非接触式NanoCam SQ是对传统工作站光学轮廓仪所需的杂乱复制方法的巨大改进,并为测量大型光学器件提供了出色的便携性。通过启用机器上的粗糙度计量,NanoCam SQ提高了产量。通过消除运输昂贵的关键任务光学器件的需要,NanoCam降低了损坏的风险。NanoCam SQ光学轮廓仪采用动态干涉测量法(Dynamic Interferometry®),集成了高速光学传感器,测量速度比传统光学轮廓仪快数千倍。由于采集时间非常短,NanoCam SQ可以在振动的情况下进行测量,因此可以将仪器安装在抛光设备、台架或机器人末端执行器上。NanoCam SQ结构紧凑,重量轻,可直接放置在大型光学器件上。有了这种定位的自由度,NanoCam可以测量大型光学器件上任何位置的表面光洁度。NanoCam SQ动态光学轮廓仪包括4Sight高级分析软件。业界领先的4Sight报告ISO 25178表面粗糙度参数(S参数),并提供广泛的2D和3D分析选项、数据过滤、屏蔽、数据库和导入/导出功能。
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干涉仪配置: Twyman–Green Interferometer 光源: 632 nm or 633nm, 355nm, 532nm, 1053nm, 1064nm, 1550nm, 10.6um 输出极化: Circular 有效值重复性: <0.001 waves 有效值精度: <0.002 waves
与传统的Fizeau仪器相比,Twyman-Green配置干涉仪具有几个重要的优势:振动不敏感测量可在具有挑战性的环境中使用,如Cryo-Vac测试或长测量路径。设计可以非常紧凑,可在狭小空间或难以接近的位置使用。轴上设计可提供出色的精度,尤其是在测量球形元件时。测试和参考之间的功率比以无损方式调整。PhaseCam动态Twyman-Green激光干涉仪可提供高分辨率测量,即使振动和空气湍流Dynamic Interferometry®使PhaseCams能够在30微秒内捕获完整的波前测量结果,比传统的相移干涉仪快5000倍。PhaseCams结构紧凑,重量轻,使重新配置测试设置变得简单和容易,无需振动隔离。PhaseCam激光干涉仪非常适合大直径光学元件的计量、生产车间质量控制、通常受气流湍流阻碍的洁净室应用、远程操作必不可少的环境室以及移动部件(如可变形反射镜、旋转磁盘或振动膜)的模态分析。
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类型: Twynman-Green Interferometer 测量类型: Shape, Phase (wavefront), Reflectivity 波长: 632.8 nm 目标形状: 2D, 3D 聚焦范围: ± 12.5 mm
4D Technology的PhaseCam 6010是一款动态Twyman-Green干涉仪,工作波长为632.8 nm.它有一个400万像素的摄像头,可对所有内部功能进行全电动控制,并可对光路测量进行轴上照明和成像。该圆偏振干涉仪具有光纤耦合头和激光源模块,可提供1.5 MW的输出功率,并在FWHM下产生直径为7 mm的光束。PhaseCam 6010具有动态干涉测量技术,该技术使用单个相机高速光学相位传感器在小于30&μs的时间内进行波前测量。该干涉仪的采集速率超过15帧/秒,可在几乎任何条件下使用,无需隔振。PhaseCam 6010功耗高达750 W,采用尺寸为18 X 16.2 X 9.1 cm(测量头)的封装,配有48.3 X 20.3 X 11.9 cm激光源。它是米级望远镜光学系统、大型成像系统校准、真空和环境室测试、测试计算机生成全息图和生产车间质量控制应用的理想选择。