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干涉仪配置: Not Specified 光源: Not Specified 输出极化: Linear 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not Specified工业和研究中的许多应用需要高精度的同步位移和角度测量。快速设置和轻松调整尤为重要。三光束激光干涉仪是将三个干涉仪组合在一个设备中的精密长度测量设备。在所有三个测量通道中使用相同的高度稳定的激光频率。因此，可以以亚纳米精度同时测量三个长度值。根据两个长度值之间的差和校准的光束距离，可以高精度地确定相应的角度。该系统采用模块化设计，因此可适用于各种测量任务。干涉仪的测量范围超过5米，具有亚纳米分辨率。对于使用反射器的测量，角度测量范围可达±12.5°。
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干涉仪配置: Twyman–Green Interferometer 光源: 632 nm or 633nm 输出极化: Random 有效值重复性: <0.01 waves 有效值精度: <0.01 waves这些高度集成的相移Twyman-Green干涉仪传感器可满足现代质量管理的较苛刻要求。结合μShape™测量和分析软件，这些高性能精密测量仪器可提供有关样品表面偏差或波前像差的信息。
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干涉仪配置: Twyman–Green Interferometer 光源: 632 nm or 633nm 输出极化: Random 有效值重复性: <0.01 waves 有效值精度: <0.01 waves这些高度集成的相移Twyman-Green干涉仪传感器可满足现代质量管理的较苛刻要求。结合µShapeTM测量和分析软件，这些高性能精密测量仪器可提供有关样品表面、波前或测试物镜像差的信息。
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干涉仪配置: Twyman–Green Interferometer 光源: 632 nm or 633nm, 355nm, 532nm, 780nm, 1053nm, 1064nm 输出极化: Random 有效值重复性: <0.01 waves 有效值精度: <0.01 wavesμPHASE®Universal针对研发中的测量进行了优化，是μPHASE®产品线中较灵活的仪器。水平设计能够测量尺寸、半径和材料不同的各种透镜和部件。
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干涉仪配置: Not Specified 光源: 1550nm 输出极化: Linear 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not SpecifiedC01是皮级干涉仪的标准传感头类型。由于其准直输出光束、紧凑的外形和各种定制选项，它适用于较常见的应用。每个传感器头（见图1）基于两个主要组件：准直光纤输出光束的透镜系统和将光束分为参考光束和探测光束的分束器。参考光束被内部参考镜反射，该内部参考镜被涂覆到分束器立方体的一侧。探测光束从头部射出并被目标表面反射，以跟踪其相对位移。分束器的前表面标记每个皮级测量的绝对零位置，因为在这里探针和参考光束具有相等的长度。
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干涉仪配置: Not Specified 光源: 1550nm 输出极化: Linear 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not SpecifiedC03是一种传感头类型，针对中等工作距离进行了优化，并使用回复反射器作为目标。探测光束被放大，使得其发散度减小，并且在目标反射镜处反射之后可以收集更多的光功率。C03传感头类型基于标准C01型传感头，包括光纤准直光学器件和分束器。分束器将光束分成参考光束和探测光束。参考光束被涂在分束器立方体一侧的内部参考镜反射。在C03传感器头中，探测光束在被望远镜（两个透镜）扩展后离开传感器头，以显著降低光束发散度。它被目标表面反射并跟踪其相对位移。分束器的前表面标记每个皮级测量的绝对零位置，因为这里探测光束和参考光束具有相等的长度。
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干涉仪配置: Not Specified 光源: 1550nm 输出极化: Linear 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not SpecifiedF01是具有聚焦探测光束的传感头类型。这允许测量小目标的位移。此外，传感器头提供高角度公差。如图1所示，在预准直之后，集成分束器将光分成参考光束和探测光束。参考光束被参考反射镜反射，该参考反射镜被涂覆到分束器立方体的一侧。探测光束由透镜系统聚焦并从头部射出。分束器的前表面标记每个皮级测量的绝对零位置，因为这里探测光束和参考光束具有相等的长度。因此，工作距离（WD）不等于距头部的距离（即焦距f），因为透镜系统仅集成到探测光束中。
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干涉仪配置: Not Specified 光源: 1550nm 输出极化: Linear 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not SpecifiedL01是皮级激光干涉仪的传感头。目标光束用柱面透镜仅沿一个轴聚焦，从而产生线聚焦。这样，传感器头沿着聚焦轴具有相对大的角度工作范围，同时沿着正交轴具有大的直径。通常，这些传感器头用于测量旋转圆柱形物体的偏心运动，并且对其摆动（即旋转轴的倾斜/倾斜）不敏感。
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干涉仪配置: Fizeau Interferometer 光源: 632 nm or 633nm 输出极化: Linear 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not SpecifiedXonox VT1000 DL是一款精密干涉仪工作站，采用功能丰富的下视塔配置。集成的斐索干涉仪提供精确的表面计量，而集成空气轴承的天然花岗岩柱有助于精确的半径测量能力。下视配置较适合用于子孔径抛光技术。
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干涉仪配置: Fizeau Interferometer 光源: 632 nm or 633nm 输出极化: Linear 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not SpecifiedXonox VT1200和VT750代表了方便的仰视塔配置的精密干涉仪工作站。集成的Fizeau干涉仪提供了精确的表面计量，而集成空气轴承的天然花岗岩柱促进了精确的半径测量能力。工作站可以配置在集成触摸屏的节省空间的配置中，也可以配备单独的计算机手推车和双显示器。
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干涉仪配置: Fizeau Interferometer 光源: 632 nm or 633nm 输出极化: Linear 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not Specified4“、5.2”和6"版本的相移斐索干涉仪
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类型: White light interferometer 测量类型: Thickness 波长: 840 nm 应用: Thickness MeasurementMicro-Epsilon的IMS5400-TH45是一款白光干涉仪，专为工业厚度测量而设计。它可以测量0.035-1.4毫米的厚度，测量距离可达45毫米，频率可在100赫兹至6千赫兹之间连续调节。该干涉仪具有波长为840nm的NIR-SLED光源，甚至可以测量光学非致密物体（如抗反射镀膜玻璃）的厚度。IMS5400-TH45提供了与距离无关的测量的决定性优势，从而获得稳定的纳米精度厚度值。目标可以在其测量范围内移动而不影响精度。该干涉仪的厚度测量范围还允许测量薄层、平板玻璃和薄膜。它需要24 V直流电源，功耗为10 W.该干涉仪采用尺寸为Φ10 X 55 mm的铝制外壳。
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类型: White light interferometer 测量类型: Thickness 波长: 840 nm 应用: Thickness MeasurementMicro-Epsilon的IMS5400-TH70是一款白光干涉仪，专为工业厚度测量而设计。它可以测量0.035-1.4毫米的厚度，测量距离可达70毫米，连续可调速率为100赫兹至6千赫兹。该干涉仪具有波长为840nm的NIR-SLED光源，甚至可以测量光学非致密物体（如抗反射镀膜玻璃）的厚度。IMS5400-TH70提供了与距离无关的测量的决定性优势，从而获得稳定的纳米精度厚度值。目标可以在其测量范围内移动而不影响精度。该干涉仪的厚度测量范围还允许测量薄层、平板玻璃和薄膜。它需要24 V的直流电源，功耗为10 W.该干涉仪采用尺寸为Φ10 X 55 mm的铝制外壳。
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类型: White light interferometer 测量类型: Length, Distance 波长: 840 nm 应用: Distance MeasurementMicro-Epsilon的IMS5600-DS是一款波长为840 nm的干涉仪，工作温度为5至70摄氏度，存储温度为-20至70摄氏度。有关IMS5600-DS的更多详细信息，请联系我们。
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类型: Fizeau Interferometer 测量类型: Shape 目标形状: 2D, 3D 应用: Shape Measurement来自Xonox Technology GmbH的X-FIZ 100 ECO是一种相移斐索干涉仪，具有130万像素的单色相机。它具有远程控制，定位电动焦点调节和10倍光学放大变焦。该干涉仪具有632.8nm HeNe激光源，其产生2mW Class-1偏振输出。它可以通过带有有线遥控器的USB 3.0接口进行控制，并具有用于变焦和对焦的旋转定位控制器。X-FIZ 100 ECO具有刚性框架和坚固的光学机械设计，可确保在安装时和随着时间的推移保持对准。它有一个带自动饱和调节的智能电子衰减器和一个带Tip-Tilt TS支架的压电移相器，该支架与Zygo式卡口和XonOx 4+光学连接器兼容。该干涉仪需要110-240 V的交流电源，采用310 X 285 X 595 nm的封装。
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类型: Fizeau Interferometer 测量类型: Shape 目标形状: 2D, 3D 应用: Shape Measurement -
类型: Fizeau Interferometer 测量类型: Shape 目标形状: 2D, 3D 应用: Shape Measurement -
类型: Fizeau Interferometer 测量类型: Shape 目标形状: 2D, 3D 应用: Shape Measurement -
类型: Fizeau Interferometer 测量类型: Shape 目标形状: 2D, 3D 应用: Shape Measurement -
类型: Fizeau Interferometer 测量类型: Shape 目标形状: 2D, 3D 应用: Shape Measurement