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  308型手持式紫外光测量仪

  美国

  分类：激光功率计

  厂商：OAI

  光谱范围: 0.365 - 0.540 um 冷却方式: No cooling

  可靠且可重复的OAI 308型紫外线测光仪是一种精确的直读式仪器，用于测量紫外线强度。308型具有用于UVA、UVB和UVC范围的可拆卸探头，以及高速串行端口，并提供可选的软件包，便于即时记录强度模式、时间、波长、序列号和校准到期日。308型紫外线测光仪用于光刻、3D打印、包装、紫外线固化和灭菌。

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  308T型手持式紫外线高强度光度计

  美国

  分类：激光功率计

  厂商：OAI

  光谱范围: 0.365 - 0.540 um 冷却方式: No cooling

  新型OAI 308T型紫外线测光仪专为高强度应用而设计，是一款可靠的直读式仪器，专为测量紫外线固化的紫外线强度而设计。308T型具有可拆卸探头，可用于UVA、UVB和UVC范围，以及高速串行端口。电表的精度在±3%以内，测量重复性在±3 LSB（较低有效位）以内。与所有OAI精密仪器一样，308T型提供NIST可追踪测量。当与2000毫瓦/平方厘米探头一起使用时，这款易于使用的仪表可在0.1至1999.9毫瓦/平方厘米满量程范围内自动调整。电表在此范围内的线性度至少为±（.002%+6 LSB）。

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  356型光刻机紫外线强度和能量计，带9点记忆

  美国

  分类：激光能量计

  厂商：OAI

  最大可测量能量: 9999mJ 光谱范围: 356 - 456 um

  用于接触掩模对准器的356型光刻UV强度和能量计是一种基于微处理器的监视器，允许存储和调用从曝光系列（400 MW/cm2，9999 MJ/cm2，较大9999秒）收集的多个曝光参数（强度、能量和时间）。它计算百分比偏差并平均能量。对于220、254、260、310、365、380、400、420、436和540nm波长。其他波长也是可用的。

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  357型用于晶圆步进机的紫外光强度和能量计

  美国

  分类：激光功率计

  厂商：OAI

  最大平均功率: 1.6W 光谱范围: 0.365 - 0.540 um 冷却方式: No cooling

  357型紫外线强度和能量计是一种基于微处理器的仪器，可执行九个系列读数的测量、存储和调用，专为与ASML、尼康、佳能、GCA和Rudolph Technology晶圆步进机配合使用而设计。它读取强度、能量和时间（16-1600 MW/cm²，999.9 MJ/cm²x）。对于400和420nm波长。

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  358型用于高强度步进机的紫外线光和强度能量计

  美国

  分类：激光功率计

  厂商：OAI

  最大平均功率: 4W 光谱范围: 0.356 - 0.436 um 冷却方式: No cooling

  该仪器设计用于ASML高强度、佳能、尼康和Ultratech高强度晶片步进机。基于微处理器的358型紫外线强度和能量计执行九个系列读数的测量、存储和调用。读取365、400、420和436 nm波长的强度、能量和时间（4000 MW/cm²，999.9 MJ/cm²）。

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  457型紫外线强度和能量计

  美国

  分类：激光能量计

  厂商：OAI

  最大可测量能量: 9999mJ 光谱范围: 0.365 - 0.436 um

  457型紫外光强度和能量系统专为与ASML、佳能、尼康和GCA&Rudolph Technology晶圆步进机配合使用而设计，可精确描绘曝光能量（剂量），以评估步进机的性能。它读取400和420 nm波长的强度、能量和时间（16-1600 MW/cm²，999.9 MJ/cm²）。可选的RS232电缆可与457软件配合使用，将剂量数据发送到计算机。

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  458型用于晶圆步进机的紫外线高强度和能量测量仪

  美国

  分类：激光能量计

  厂商：OAI

  最大可测量能量: 9999mJ 光谱范围: 0.365 - 0.436 um

  基于微处理器的458型UV光强度和能量系统精确地描绘曝光能量（剂量），以评估步进机的性能。它设计用于ASML高强度、佳能、尼康和Ultratech高强度晶片步进机。读取365、400、420和436 nm波长的强度、能量和时间（4000 MW/cm²，999.9 MJ/cm²）。可选的RS232电缆可与458软件配合使用，将剂量数据发送到计算机。