已选
- 日本
国家:
品牌:
参数:
-
功率
Power(W)
确定 取消 -
脉冲能量
Pulse Energy(nJ)
确定 取消 -
波长
Wavelength(nm)
确定 取消
推荐专栏
查看更多 >
-
Skylark 780 NX CW C-DPSS激光器
厂家:Skylark Lasers
-
Skylark 640 NX C-DPSS激光器
厂家:Skylark Lasers
-
Skylark 532 NX C-DPSS激光器
厂家:Skylark Lasers
-
Skylark 349 NX CW C-DPSS紫外激光器
厂家:Skylark Lasers
-
Skylark 320 NX CW C-DPSS紫外激光器
厂家:Skylark Lasers
-
ASE-C-80系列 3通道ASE光源台式设备器
厂家:Optilab
光电查为您提供141个产品。下载资料,获取报价,实现功能、价格及供应的优化选择。
-
波长: 193 nm 功率: 60-90 W
先进产品制造目前仍继续应用摩尔定律,技术节点日益微细化。这些尖端产品对转印到晶圆上的曝光图案、特别是EPE(Edge Placement Error)具有很高的要求。作为光源通过降低直接影响EPE的CD LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness),为提高批量生产现场的成品率提供帮助。 新型浸没式曝光光源“GT66A”通过新开发的光学模块成功地将散斑对比度降低30%,减少了LER/LWR。还通过引入新的高度耐用零件,将模块的维护周期延长30%。由此实现进一步改善工序成品率、提高光源的可用性,为尖端节点批量生产的高生产性提供帮助。