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G45K

分类：激光器模块和系统

厂家： Gigaphoton

产地：日本

型号： G45K

更新时间： 2024-08-30 10:58:07

标签：

工业应用激光器光电技术光源半导体设备绿色科技

简介：

支持50W的4kHz KrF准分子激光器

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概述

4kHz KrF准分子激光器系列的第3代机型G45K，是一款旨在提高最尖端存储芯片的生产效率、功率最高可达50W的高功率机型。该机型通过延长模块的使用寿命和绿色技术，可以同时实现“提高生产率”和“减轻环境负荷”两大目标。

参数

波长 / Wavelength : 248 nm
功率 / Power : 40-50 W

应用

1. 尖端存储芯片的生产 2. 半导体制造 3. 激光雕刻及打标

特征

1. 功率范围：40-50W 2. 波长：248 nm 3. 绿色技术 4. 高功率输出 5. 模块使用寿命长

详述

特色

高输出

输出功率高达50W，同比传统型号提高了25%。有助于提高最尖端存储芯片的生产效率。

延长模块的使用寿命

通过将装置中主要模块的使用寿命延长20%，减少了维护停机的时间。同时还有助于提高生产率。

绿色技术

“无氦气”作为标配装备，可以确保装置运行期间氦气的使用量为零，并通过连接氖气回收系统“hTGM”，有助于降低运营成本和减轻环境负荷。

主要规格

规格项目	值^*
发射波长	248 nm
平均输出功率	40 W – 50 W
脉冲能量	10.0 – 12.5 mJ
发射频率	4,000 Hz
光谱幅度（FWHM）	0.35 pm
光谱幅度（以 95 %能量累计，E95,）	1.1 pm

(*) 上述各规格值为代表值

/nG45K激光器是Gigaphoton公司推出的高性能产品，作为其4kHz KrF准分子激光器系列的高功率机型，G45K具有高达50W的输出功率，专为尖端存储芯片制造设计。该激光器采用最新的绿色技术，旨在降低对环境的影响，同时延长产品的使用寿命。它不仅适用于尖端存储芯片的生产，使其更为高效，也能广泛应用于半导体制造及激光雕刻等领域。凭借出色的技术参数和先进的埃克森环保设计，G45K激光器为客户提供了一种高效的激光解决方案，助力多种工业应用。

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厂家介绍

成立于2000年，Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来，Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源，并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。此外，他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主，拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地，成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。

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