- ABTech Inc
- Aerotech
- Dover Motion
- Griffin Motion
- MechOnics AG
- MICRONIX USA LLC
- National Aperture
- New Scale Technologies Inc
- Npi electronic GmbH
- nPoint Inc
- NUTEC Components Inc
- OWIS GmbH
- Schneeberger Inc
- SURUGA SEIKI
- Velmex Inc
- STANDA
- Ealing Catalog
- Altos Photonics, Inc.
- Zaber Technologies - Vancouver, BC
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真空兼容: Yes 内置控制器: Yes 范围: 90degrees 单向精度: 0.0000572degrees 重复性: Not SpecifiedABTECH'的精密空气轴承旋转工作台可满足不同重量和零件尺寸的计量需求。专为较苛刻的应用而设计，每个工作台都提供超平滑运动、亚微米精度和绝对可重复性。内部设计和制造的几何公差非常严格，空气轴承没有磨损或产生阻力的机械接触部件。这允许数十年可靠的免维护运动。ABTECH' s AT型号标配双元件过滤器/调节器，通常用作设备检查总指示器读数（TIR）、圆度、平面度、垂直度、同心度和平行度测量的核心轴。它们是理想的独立装置，用于检查车削零件的跳动、光学透镜对准、装配应用、精密分度和轻型加工或研磨。
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真空兼容: Yes 内置控制器: Yes 单向精度: 0.0000572degrees 重复性: Not Specified 舞台直径: 1000mmABTECH的精密油静液压转台系列可满足各种零件尺寸和重量的运动需求。专为较苛刻的应用而设计，油静液压油膜轴承提供高负载能力和极高的刚度。每个阶段提供超平滑运动，亚微米精度和绝对可重复性。内部设计和制造，几何公差极其严格。ABTECH的静压轴承没有磨损或产生阻力的机械接触部件。这允许数十年可靠的免维护运动。我们的静液压转台通常用于广泛的机械加工和磨削应用中，在这些应用中，需要平稳和可重复的运动。它们是理想的独立单元和/或多轴组件，通常出现在机械加工和磨削系统中。ABTECH的质量、精度和设计灵活性是我们的静压轴承满足超精密运动需求的原因。所有旋转工作台都可以定制各种选项和附件。这包括电机驱动器、静液压泵装置（HPU）、真空工作台、高分辨率光学编码器、数字读数（DRO）显示器、检验级花岗岩表面板和表架。除了选件和附件之外，材料选择也是我们应用工程师关注的重点。对于恶劣的环境，严格的准确性，精度和稳定性，我们将使用硬化不锈钢轴承部件。这提供了对可能由低油压、过载或操作员错误导致的轻微意外触地的宽容度。我们的精密运动专家将与您密切合作，配置满足您确切需求的线性运动解决方案。
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真空兼容: No 内置控制器: Yes 范围: 90degrees 重复性: Not SpecifiedABTECH的精密机械旋转工作台系列可满足各种零件尺寸和重量的运动需求。高精度的角接触轴承被整合到内部设计和制造的阶段中，以实现极其严格的几何公差。其结果是在径向、轴向和角度（倾斜/圆锥）误差运动方面具有优越的性能。机械转台广泛应用于需要低成本和高性能运动的场合。它们非常适合用作独立单元和/或多轴组件、圆柱形零件台架、TIR检查、装配和对准工具、位置测量、光学扫描、光加工和研磨等。精密运动有多种形式和应用，每一种都有自己的一套相关规范。当今应用程序的多样性产生了独特的要求，我们将配置灵活性作为我们设计理念不可或缺的一部分。所有旋转台均可定制各种选件和附件。这包括电机驱动器、真空工作台、高分辨率光学编码器、数字读出（DRO）显示器、检测级花岗岩表面板等。除了选件和附件外，材料选择也是我们应用工程师关注的重点。对于更恶劣的环境，我们使用440硬化不锈钢组件，以获得较佳的准确度、精度和稳定性。专注于成本，ABTECH将利用硬涂层铝结构的效率。我们的精密运动专家将与您密切合作，配置旋转运动解决方案，以满足您的确切需求。
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运动轴: Three 旅行范围: 0.03mm 负载能力: 1kg设计特点移动到240μm X 240μm X 25μm高达66 mm X 66 mm的大方形通光孔径通过并联运动设计实现卓越的多轴精度高刚度和高动态性能，从而实现高工艺产量高精度、无摩擦挠曲引导正在申请专利的设计提供了无与伦比的几何性能器件寿命长卓越的定位分辨率和线性度，提供直接计量电容式传感器选项开环和真空版本Aerotech的QNP3系列XYZ并联运动压电定位平台在紧凑的扁平封装中结合了亚纳米分辨率、高动态性能和出色的几何性能。QNP3系列压电级标配大通光孔径，闭环行程高达200µm X 200µm X 20µm（开环行程高达240µm X 240µm X 25µm）。该设计是光学和扫描探针显微镜或其他检测或制造应用的理想选择，在这些应用中，需要通过三个自由度操作进行双面零件访问。精密平行运动设计QNP3压电级采用平行运动挠曲和计量设计，确保较高水平的多轴精度。QNP3级采用经过FEA优化的精密挠性件，可确保高刚度和长器件寿命，提供同类较佳的刚度和谐振频率，从而实现高工艺产量和快速闭环响应。使用正在申请专利的驱动器设计，X和Y偏航误差被较小化，同时仍然保持符合阿贝标准的计量系统。这种设计在整个XY行程空间内实现了无与伦比的定位性能。Z轴致动器和电容传感器被设计为在垂直方向上以较小的几何误差提供符合阿贝标准的反馈。亚纳米性能所有QNP3压电级均提供闭环反馈（-C）或开环（无反馈）。独特的电容式传感器并行计量设计可测量定位托架的输出，直接实现亚纳米分辨率、低于0.01%的线性误差和个位数纳米可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP3平台展示了亚纳米定位分辨率、定位稳定性（抖动）和高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。还提供OEM驱动器选项。Aerotech的控制器架构可轻松实现压电级、伺服系统、步进器和检流计之间的高速、紧密控制的协调运动。设计选项可选的安装板提供直接安装英制或公制试验板光学表。还提供了一个坚固的桌面选项。QNP3压电级可根据要求提供定制材料和真空制备版本。
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运动轴: One 旅行范围: 0.1mm 负载能力: 1kg设计特点行程范围为100µm至600µm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供亚纳米级性能。各种行程（100µm至600µm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，这些载物台的设计旨在提供出色的几何性能（直线度和角度误差），同时较大限度地减小整个载物台封装尺寸、高分辨率和定位精度。所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括XY和Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。
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运动轴: Two 旅行范围: 0.1mm 负载能力: 1kg设计特点行程范围为100μm至600μm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供纳米级性能。各种行程（100μm至600μm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，集成的XY封装较大限度地降低了级堆叠高度和移动质量，从而实现了卓越的静态和动态多轴性能。高分辨率和定位精度所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括-L和-Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。
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运动轴: One 旅行范围: 0.25mm 负载能力: 1kg设计特点行程范围为100µm至600µm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供亚纳米级性能。各种行程（100µm至600µm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，这些载物台的设计旨在提供出色的几何性能（直线度和角度误差），同时较大限度地减小整个载物台封装尺寸、高分辨率和定位精度。所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括XY和Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。
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运动轴: Two 旅行范围: 0.25mm 负载能力: 1kg设计特点行程范围为100μm至600μm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供纳米级性能。各种行程（100μm至600μm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，集成的XY封装较大限度地降低了级堆叠高度和移动质量，从而实现了卓越的静态和动态多轴性能。高分辨率和定位精度所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括-L和-Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。
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运动轴: One 旅行范围: 0.5mm 负载能力: 1kg设计特点行程范围为100µm至600µm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供亚纳米级性能。各种行程（100µm至600µm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，这些载物台的设计旨在提供出色的几何性能（直线度和角度误差），同时较大限度地减小整个载物台封装尺寸、高分辨率和定位精度。所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括XY和Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。
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运动轴: Two 旅行范围: 0.5mm 负载能力: 1kg设计特点行程范围为100μm至600μm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供纳米级性能。各种行程（100μm至600μm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，集成的XY封装较大限度地降低了级堆叠高度和移动质量，从而实现了卓越的静态和动态多轴性能。高分辨率和定位精度所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括-L和-Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。
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运动轴: One 旅行范围: 0.012mm 负载能力: 2kg 负载能力: 7kg设计特点从10μm到40μm的闭环行程直接驱动执行机构可实现快速响应时间和更高的吞吐量工艺高精度、无摩擦弯曲导向延长器件寿命通过直接计量电容传感器选项实现卓越的定位分辨率和线性度开环和真空版本SAEROTECH的QNPHD压电纳米定位平台在一个紧凑的高刚度封装中同时提供平台和执行机构的优势。QNPHDIS具有直接计量、电容式传感器反馈选项、高谐振频率和高负载能力，非常适合各种高速和高精度应用，如扫描探针显微镜、光盘驱动测试或半导体晶片关节。响应速度快，精度高QNPH采用直接驱动驱动设计和优化结构，可实现毫秒级响应和移动-停留时间。在使用有限元分析优化以确保高刚度和长器件寿命的精密挠曲的指导下，QNPHD提供了高动态性能，同时为关键的纳米定位应用保持了出色的几何性能（平直度和角度误差）。高分辨率和定位精度QNPHD具有闭环反馈（-C）选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和单位数纳米线性度误差。电容传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNPHD展示了亚纳米定位分辨率和高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。安装灵活性QNPHDIS提供后部和侧面电缆引出选项，以及水平和垂直方向的安装功能。这种灵活性允许用户将载物台定向和包装成较佳布置，而不需要设计各种适配器板和支架，这些适配器板和支架会增加尺寸和设计复杂性。可选的安装板可直接安装到英制或公制光学试验板工作台上。定制设计和真空制备版本可根据要求提供。
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运动轴: One 旅行范围: 0.025mm 负载能力: 2kg 负载能力: 10kg设计特点闭环从10μm到40μm。直接驱动驱动可实现快速响应时间和更高的吞吐量过程高精度、无摩擦挠曲引导器件寿命长卓越的定位分辨率和线性度，提供直接计量电容式传感器选项开环和真空版本Aerotech的QNPHD压电纳米定位平台在一个紧凑的高刚度封装中提供了平台和致动器的优势。QNPHDIS具有直接计量、电容式传感器反馈选项、高谐振频率和高负载能力，非常适合各种高速和高精度应用，如扫描探针显微镜、光盘驱动测试或半导体晶片关节。响应速度快，精度高QNPH采用直接驱动驱动设计和优化结构，可实现毫秒级响应和移动-停留时间。在使用有限元分析优化以确保高刚度和长器件寿命的精密挠曲的指导下，QNPHD提供了高动态性能，同时为关键的纳米定位应用保持了出色的几何性能（平直度和角度误差）。高分辨率和定位精度QNPHD具有闭环反馈（-C）选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和单位数纳米线性度误差。电容传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNPHD展示了亚纳米定位分辨率和高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。安装灵活性QNPHDIS提供后部和侧面电缆引出选项，以及水平和垂直方向的安装功能。这种灵活性允许用户将载物台定向和包装成较佳布置，而不需要设计各种适配器板和支架，这些适配器板和支架会增加尺寸和设计复杂性。可选的安装板可直接安装到英制或公制光学试验板工作台上。定制设计和真空制备版本可根据要求提供。
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运动轴: One 旅行范围: 0.04mm 负载能力: 2kg 负载能力: 10kg设计特点闭环从10μm到40μm直接驱动驱动可实现快速响应时间和更高的吞吐量过程高精度、无摩擦挠曲引导器件寿命长卓越的定位分辨率和线性度，提供直接计量电容式传感器选项开环和真空版本Aerotech的QNPHD压电纳米定位平台在一个紧凑的高刚度封装中提供了平台和致动器的优势。QNPHDIS具有直接计量、电容式传感器反馈选项、高谐振频率和高负载能力，非常适合各种高速和高精度应用，如扫描探针显微镜、光盘驱动测试或半导体晶片关节。响应速度快，精度高QNPH采用直接驱动驱动设计和优化结构，可实现毫秒级响应和移动-停留时间。在使用有限元分析优化以确保高刚度和长器件寿命的精密挠曲的指导下，QNPHD提供了高动态性能，同时为关键的纳米定位应用保持了出色的几何性能（平直度和角度误差）。高分辨率和定位精度QNPHD具有闭环反馈（-C）选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和单位数纳米线性度误差。电容传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNPHD展示了亚纳米定位分辨率和高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。安装灵活性QNPHDIS提供后部和侧面电缆引出选项，以及水平和垂直方向的安装功能。这种灵活性允许用户将载物台定向和包装成较佳布置，而不需要设计各种适配器板和支架，这些适配器板和支架会增加尺寸和设计复杂性。可选的安装板可直接安装到英制或公制光学试验板工作台上。定制设计和真空制备版本可根据要求提供。
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运动轴: Two 旅行范围: 25mm 负载能力: 10kg 最大速度: 1100mm/sDover Motion MMX系列微型线性舞台集先进性能、可靠性和价值于一身。高功率MMX具有更高的力密度，可提供5倍于同类竞争产品的力。舞台设计采用高精度防爬行交叉滚柱导轨，在扁平封装中实现极其平稳的运动、高刚度和可靠性。其无刷线性伺服电机可实现高速运行，无需维护，非常适合用于高吞吐量应用。微型线性平台可以组合成多轴组件，包括具有整体恒力磁性平衡的Z配置。对于25 mm旅行版本，可使用单相电机，以降低放大器成本，降低复杂性，并获得更紧凑的尺寸。MMX有一个完全无铁的电机，以提供无齿轮的平滑运动。微型线性平台还使用简单的可调支架提供外部可调限位传感器。舞台采用黑色阳极氧化铝表面处理。
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运动轴: Two 旅行范围: 200mm 负载能力: 12kg 最大速度: 2000mm/sDover Motion MMS系列微型长行程线性载物台是一款高性能定位器，采用小型封装设计，非常适合保持仪器尺寸和降低成本。它的总高度为37毫米，将阿贝误差效应降至较低。非接触无铁伺服电机提供高的力量和稳定的速度，无齿槽效应。四个循环滚珠轴承托架用于确保平滑、稳定和精确的运动。MMS系列配备精密光学编码器，用于可重复的闭环定位。该级设计为无需维护的高速，使其非常适合用于高吞吐量应用。微型线性载物台可以堆叠到XY多轴组件中，或与我们的MMX系列组合用于堆叠XY设置，MMS用于长行程加载/卸载，MMX作为较短的行程轴，以减少整个系统的占用空间。
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运动轴: Two 旅行范围: 50-200mm 负载能力: 10kg 最大速度: 600mm/sDover Motion SmartStage线性定位器是一款易于集成的高分辨率工作台。与传统的直接驱动线性电机平台不同，它包括内置控制器、驱动器、通信接口和I/O。板载Dover编码器和玻璃标尺上的精密铬提供精确、可重复和稳定的定位，分辨率为5nm。通过将Dover编码器、内插器和运动控制器电子设备全部包括在载物台内，SmartStage定位器能够实现高在位稳定性，并避免由外部电缆、不良接地和其他对反馈信号的不利影响引入的噪声误差。坚硬的交叉滚柱轴承适用于各种有效载荷。这些轴承还提供了卓越的轨迹性能，并在需要平滑运动的恒速扫描等应用中表现出色。Dover Motion的无铁直线电机技术的新型磁拓扑结构经过优化，可实现高伺服带宽和整个行程上的均匀力，并且没有螺杆式定位器通常遇到的齿隙。这使得SmartStage轴在需要高吞吐量步进和建立或恒速扫描的应用中同样表现出色。交叉滚柱轴承方式和Dover Motion的线性电机驱动系统的有力结合带来了卓越的仪器性能。
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运动轴: Three 旅行范围: 100mm 负载能力: 1.1kg 负载能力: 4.62kg 最大速度: 150mm/sLM2系列级专为各种应用而设计。这种紧凑的低轮廓线性平台是为高占空比和长寿命而构建的，并为工厂自动化和半导体加工设备实现了高速度。该平台具有卓越的精度、可重复性、平面度和平直度。循环滚珠线性方式和精密研磨滚珠丝杠提供极其平稳的操作和速度控制。侧面密封和硬盖使其成为肮脏环境的绝佳选择。LM2系列载物台可以堆叠以创建XY运动。
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运动轴: Three 旅行范围: 100mm 负载能力: 7.7kg 负载能力: 14.2kg 最大速度: 300mm/s线性旋转载物台设计用于高负载能力和精确定位，以适应各种应用。气动定长夹头卡盘允许夹头在打开和关闭过程中保持轴向静止。交叉滚柱轴承和直线电机提供极其平稳的运行和速度控制。该平台具有极高的精度、可重复性、平面度和平直度。硬盖使其成为肮脏环境的绝佳选择。
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运动轴: Two 内置控制器: Yes 旅行范围: 50mm 准确性: 10um 反冲: Not SpecifiedCXY-BS系列级设计用于各种应用。这种紧凑的低轮廓滚珠丝杠台是为高工作循环和长寿命而设计的，并且可以为工厂自动化和半导体加工设备实现高速度。CXY系列提供了非凡的正交性和平行度，从而实现了组合轴运动的高精度。循环球线性方式和精密地面滚珠丝杠提供极其平稳的操作和速度控制。XY平台可以在任何方向上操作，并具有可选的断电制动器，以增加安全性。
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运动轴: One 旅行范围: 10mm 负载能力: 0.45kg 负载能力: 0.32kg 最大速度: 1.5mm/s压电惯性驱动的超小型微型平移台。