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  • GT62A 6千赫兹准分子激光器60W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。

  • GT62A 6千赫兹准分子激光器90W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。

  • GT63A ArF准分子激光器60W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新车型GT63A是第五代车型,采用相同的注塑锁定平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在响应客户的需求,创造额外的价值:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进个客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;GT63A以其设计理念和高可靠性享誉全球,GT63A与之前的GT系列车型在同一平台上设计,以尽可能多地使用通用部件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。

  • GT63A ArF准分子激光器90W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新型号GT63A是第五代型号,采用相同的注锁平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在满足客户创造额外价值的需求:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;以其设计理念和高可靠性享誉全球。GT63A的设计平台与以前的GT系列型号相同,以便使用尽可能多的通用组件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。

  • GT64A ArF浸入式准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 20mJ 平均功率: 120W 最大重复率: 6000Hz

    GT64A提供业界较高的120W输出功率,具有高光束性能和稳定性。该产品的设计重点是性能、效率和减少环境影响,挑战总运营成本效率的极限。这是继承Gigaphoton的Timeless Injection Lock(TM)技术的第六代产品。基于GT平台著名的双腔架构、输出控制算法、光束对准技术,GT64A可提供120W的功率输出、卓越的光束性能和稳定性,以及业界一流的可靠性、恢复时间和模块寿命。

  • GT65A ArF准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 20mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    GT65A是使用注入锁定方法的第七代平台,安装了领先的技术,并通过可变光谱宽度(E95)带来的“曝光性能改进”和改进的稳定性、延长的模块寿命带来的“高可用性”以及无氦气带来的“降低的环境负荷”,为客户进一步提高了生产率(晶圆产量)。

  • Frequad-C (FQC-20) DUV激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Oxide Corp.
    波长: 266nm 最大输出功率: 20mW 运行模式: CW

    我们有三种型号的连续波、单频266nm激光器,覆盖了广泛的输出功率范围。这些车型是我们20多年连续发展历史上的印记。我们的270多台激光产品已遍布世界各地,进入各个领域。

  • Frequad-C (FQC-50) DUV激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Oxide Corp.
    波长: 266nm 最大输出功率: 50mW 运行模式: CW

    我们有三种型号的连续波、单频266nm激光器,覆盖了广泛的输出功率范围。这些车型是我们20多年连续发展历史上的印记。我们的激光产品已有270多台,遍布全球各个领域。

  • Frequad-HP(FQ50-10)DUV激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Oxide Corp.
    波长: 266nm 最大输出功率: 1000mW 运行模式: CW

    我们有三种型号的连续波、单频266nm激光器,覆盖了广泛的输出功率范围。这些车型是我们20多年连续发展历史上的印记。我们的激光产品已有270多台,遍布全球各个领域。

  • Frequad-HP(FQ50-20)DUV激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Oxide Corp.
    波长: 266nm 最大输出功率: 2000mW 运行模式: CW

    我们有三种型号的连续波、单频266nm激光器,覆盖了广泛的输出功率范围。这些车型是我们20多年连续发展历史上的印记。我们的激光产品已有270多台,遍布全球各个领域。

  • Frequad-M (FQM-03) DUV激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Oxide Corp.
    波长: 266nm 最大输出功率: 300mW 运行模式: CW

    我们有三种型号的连续波、单频266nm激光器,覆盖了广泛的输出功率范围。这些车型是我们20多年连续发展历史上的印记。我们的270多台激光产品已遍布世界各地,进入各个领域。

  • Frequad-M (FQM-05) DUV激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Oxide Corp.
    波长: 266nm 最大输出功率: 500mW 运行模式: CW

    我们有三种型号的连续波、单频266nm激光器,覆盖了广泛的输出功率范围。这些车型是我们20多年连续发展历史上的印记。我们的激光产品已有270多台,遍布全球各个领域。

  • Frequad-M (FQM-07) DUV激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Oxide Corp.
    波长: 266nm 最大输出功率: 700mW 运行模式: CW

    我们有三种型号的连续波、单频266nm激光器,覆盖了广泛的输出功率范围。这些车型是我们20多年连续发展历史上的印记。我们的激光产品已有270多台,遍布全球各个领域。

  • Frequad-M (FQM-10) DUV激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Oxide Corp.
    波长: 266nm 最大输出功率: 1000mW 运行模式: CW

    我们有三种型号的连续波、单频266nm激光器,覆盖了广泛的输出功率范围。这些车型是我们20多年连续发展历史上的印记。我们的激光产品已有270多台,遍布全球各个领域。

  • G10K 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton
    类型: Laser System 技术: Excimer laser 工作模式: Pulsed Laser 波长: 248 nm 可调谐: No

    来自Gigaphoton的G10K是波长为248nm、功率为10W、脉冲能量为10mJ的激光器。有关G10K的更多详细信息,请联系我们。

  • G20K 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton
    类型: Laser System 技术: Excimer laser 工作模式: Pulsed Laser 波长: 248 nm 可调谐: No

    来自Gigaphoton的G20K是波长为248nm、功率为20W、脉冲能量为10mJ的激光器。有关G20K的更多详细信息,请联系我们。

  • G21K 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton
    类型: Laser System 技术: Excimer laser 工作模式: Pulsed Laser 波长: 248 nm 可调谐: No

    来自Gigaphoton的G21K是波长为248nm、功率为20W、脉冲能量为10mJ的激光器。有关G21K的更多详细信息,请联系我们。

  • G41A 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton
    类型: Laser System 技术: Excimer laser 工作模式: Pulsed Laser 波长: 193 nm 可调谐: No

    来自Gigaphoton的G41A是波长为193nm、功率为20W、脉冲能量为5mJ的激光器。有关G41A的更多详细信息,请联系我们。

  • G41K-1H 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton
    类型: Laser System 技术: Excimer laser 工作模式: Pulsed Laser 波长: 248 nm 可调谐: No

    来自Gigaphoton的G41K-1H是波长为248nm、功率为40W、脉冲能量为10mJ的激光器。有关G41K-1H的更多详细信息,请联系我们。

  • G42A 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton
    类型: Laser System 技术: Excimer laser 工作模式: Pulsed Laser 波长: 193 nm 可调谐: No

    来自Gigaphoton的G42A是波长为193nm、功率为20W、脉冲能量为5mJ的激光器。有关G42A的更多详细信息,请联系我们。