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G10K 激光器模块和系统

G10K

分类: 激光器模块和系统

厂家: Gigaphoton

产地: 日本

型号: G10K

更新时间: 2024-06-05 17:26:49

1-kHz KrF Excimer Laser for 0.25 µm to 0.18 µm Design Rule

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概述

来自Gigaphoton的G10K是波长为248nm、功率为10W、脉冲能量为10mJ的激光器。有关G10K的更多详细信息,请联系我们。

参数

  • 类型 / Type : Laser System
  • 技术 / Technology : Excimer laser
  • 工作模式 / Operation Mode : Pulsed Laser
  • 波长 / Wavelength : 248 nm
  • 可调谐 / Tunable : No
  • 激光颜色 / Laser Color : Ultraviolet
  • 功率 / Power : 10 W
  • 增益介质类型 / Gain Medium Type : Gas
  • 激光增益介质 / Laser Gain Medium : Krypton fluoride

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厂家介绍

成立于2000年,Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来,Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源,并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。 此外,他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主,拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地,成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。

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