GT63A ArF准分子激光器90W版本

分类：激光器模块和系统

厂家： Gigaphoton Inc.

产地：日本

更新时间： 2024-04-19 14:40:59

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概述

GT系列的较新型号GT63A是第五代型号，采用相同的注锁平台。GT63A安装了四个“S”系列功能，旨在满足客户创造额外价值的需求：SMPL（光谱多定位LNM）*1，先进客户认可的光谱控制（“聚焦钻孔”）技术，以实现更广泛的焦深；SGRYCOS（Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System），一种可降低运营成本的独特舱室技术；STGM（Supreme Total Gas Manager），一种气体管理系统，可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间；以及SMonitoring（智能监控），实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受；以其设计理念和高可靠性享誉全球。GT63A的设计平台与以前的GT系列型号相同，以便使用尽可能多的通用组件，从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。

参数

混合气体 / Gas Mixture : ArF
波长 / Wavelength : 193 nm
脉冲能源 / Pulse Energy : 15mJ
平均功率 / Average Power : 90W
最大重复率 / Max Repetition Rate : 6000Hz

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厂家介绍

2000年，Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来，Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源，并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。此外，他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主，拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地，成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。

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