GT62A 6千赫兹准分子激光器60W版本

分类：激光器模块和系统

厂家： Gigaphoton Inc.

产地：日本

更新时间： 2024-08-27 19:57:05

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概述

GT系列的较新型号GT62A是第四代型号，采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率（90瓦），以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求，还提供60瓦版本的GT62A，以确保较大的投资回报。此外，GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术，从而较大限度地减少停机时间，以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受，其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台，因此较大限度地实现了标准化，并能够使用通用组件。因此，GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。

参数

混合气体 / Gas Mixture : ArF
波长 / Wavelength : 193 nm
脉冲能源 / Pulse Energy : 10mJ
平均功率 / Average Power : 60W
最大重复率 / Max Repetition Rate : 6000Hz

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厂家介绍

2000年，Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来，Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源，并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。此外，他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主，拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地，成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。

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