等离子体在推进纳米光子学方面发挥着至关重要的作用,因为等离子体结构表现出广泛的物理特性,这些特性得益于局部和强化的光-物质相互作用。这些特性在许多应用中得到了利用,如表面增强拉曼散射光谱、传感器和纳米激光器。
G41K-1H
KrF 4 kHz Excimer Laser for up to 130 nm Technology Nodes
概述
参数
- 类型 / Type : Laser System
- 技术 / Technology : Excimer laser
- 工作模式 / Operation Mode : Pulsed Laser
- 波长 / Wavelength : 248 nm
- 可调谐 / Tunable : No
- 激光颜色 / Laser Color : Ultraviolet
- 功率 / Power : 40 W
- 增益介质类型 / Gain Medium Type : Gas
- 激光增益介质 / Laser Gain Medium : Krypton fluoride
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厂家介绍
成立于2000年,Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来,Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源,并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。 此外,他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主,拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地,成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。
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