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  • 紧凑型EXCIMER激光器CEX-100 ArF 激光器模块和系统
    爱沙尼亚
    厂商:LDI Innovation
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 4.0mJ 平均功率: 0.35W 脉宽: 5ns

    CEX-100是功率级别中较紧凑的准分子激光器。它被设计为一个空气冷却的单一单元,具有集成电源、交流输入线电压、长寿命闸流管、单气体光学器件和卤素兼容结构。

  • 紧凑型EXCIMER激光器CEX-100 KrF 激光器模块和系统
    爱沙尼亚
    厂商:LDI Innovation
    混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 5.0mJ 平均功率: 0.5W 脉宽: 5ns

    CEX-100是功率级别中较紧凑的准分子激光器。它被设计为一个空气冷却的单一单元,具有集成电源、交流输入线电压、长寿命闸流管、单气体光学器件和卤素兼容结构。

  • 紧凑型EXCIMER激光器CEX-100 XeCl 激光器模块和系统
    爱沙尼亚
    厂商:LDI Innovation
    混合气体: XeCl 波长: 308 nm 脉冲能源: 2.0mJ 平均功率: 0.2W 脉宽: 5ns

    CEX-100是功率级别中较紧凑的准分子激光器。它被设计为一个空气冷却的单一单元,具有集成电源、交流输入线电压、长寿命闸流管、单气体光学器件和卤素兼容结构。