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GT65A ArF准分子激光器 激光器模块和系统

GT65A ArF准分子激光器

分类： 激光器模块和系统

厂家： Gigaphoton Inc.

产地： 日本

更新时间： 2024-08-30 00:10:51

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概述

GT65A是使用注入锁定方法的第七代平台，安装了领先的技术，并通过可变光谱宽度（E95）带来的“曝光性能改进”和改进的稳定性、延长的模块寿命带来的“高可用性”以及无氦气带来的“降低的环境负荷”，为客户进一步提高了生产率（晶圆产量）。

参数

  • 混合气体 / Gas Mixture : ArF
  • 波长 / Wavelength : 193 nm
  • 脉冲能源 / Pulse Energy : 20mJ
  • 平均功率 / Average Power : 60W
  • 最大重复率 / Max Repetition Rate : 6000Hz

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厂家介绍

2000年，Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来，Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源，并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。 此外，他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主，拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地，成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。

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