现在,在最近发表于《Nature Communications》上的一项研究中,包括大阪大学在内的一个多机构研究小组克服了如何提高米氏散射效率的基本限制。文章题为《Multipole engineering by displacement resonance: a new degree of freedom of Mie resonance》。
G300K
GIGANEX系列新产品、下一代微细加工用300W KrF激光器。高输出、高可靠性且可减少COO的机型
概述
参数
- 波长 / Wavelength : 248 nm
- 应用行业 / Application Industry : 下一代微细烧蚀加工
详述
主要特点
高重复频率、高输出功率
作为加工用KrF激光器,“G300K”实现了唯一的4000Hz高重复频率、300W高输出功率。可以在传统UV激光器无法实现的区域进行各种微细烧蚀加工。
高开工率
作为半导体光刻KrF光源,“G300K”保持着具有900多台出货量的G41K的可靠性,实现超过99%的高开工率。
长寿命
具有可承受半导体制造光源所培养的生产性的模块寿命,同时拥有较长的维护周期,从而为客户提高成品率并降低维护成本提供帮助。
主要规格
规格项目 | 值* | |
---|---|---|
振荡波长 | 248 nm | |
平均输出 | 75W | 300W |
脉冲能量 | 75mJ | 75mJ |
振荡频率 | 1000Hz | 4000Hz |
用途 | 下一代微细烧蚀加工 |
(*) 上述各规格值为代表值
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厂家介绍
成立于2000年,Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来,Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源,并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。 此外,他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主,拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地,成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。
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