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GT62A 激光器模块和系统

GT62A

分类： 激光器模块和系统

厂家： Gigaphoton

产地： 日本

型号： GT62A

更新时间： 2024-08-22 16:42:28

简介：

6-kHz Excimer Laser, Model GT62A: Designed for Double-Patterning Immersion Lithography Tools, Delivers World's Highest Output (90 Watts)

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概述

来自Gigaphoton的GT62A是波长为193nm、功率为60至90W、脉冲能量为10至15mJ的激光器。有关GT62A的更多详细信息，请联系我们。

参数

  • 类型 / Type : Laser System
  • 技术 / Technology : Excimer laser
  • 工作模式 / Operation Mode : Pulsed Laser
  • 波长 / Wavelength : 193 nm
  • 可调谐 / Tunable : No
  • 激光颜色 / Laser Color : Ultraviolet
  • 功率 / Power : 60 to 90 W
  • 增益介质类型 / Gain Medium Type : Gas
  • 激光增益介质 / Laser Gain Medium : Argon fluoride (Arf)

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厂家介绍

成立于2000年，Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来，Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源，并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。 此外，他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主，拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地，成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。

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