激光器技术在全球范围内快速发展,十大品牌以其卓越性能和创新技术引领市场。Optilab、II-VI Laser Enterprise GmbH、KVANT、iXblue Photonics、Innolume、RPMC Lasers Inc.、Convergent Photonics、OXIDE Corporation、Fluence Technology和武汉锐科光纤激光技术股份有限公司等品牌,提供从可见光到红外光的全波段激光解决方案。
GT45A
采用GT65A先进技术、通过高功能扩展性进一步提高生产率(晶圆输出)
概述
参数
- 波长 / Wavelength : 193 nm
- 功率 / Power : 45-90 W
详述
特色
延长模块寿命
标配GT65A引入且经过验证的模块寿命延长技术。有助于降低维护频率,提高生产率。
高功能扩展性
可以搭载GT65A可使用的功能和技术。
- 通过提高光谱宽度稳定性来改善CD均匀性
- 通过光谱宽度可变技术校正不同世代曝光机的对比度性能差异
- 通过发射频率6kHz和最高可达90W的高输出功率,进一步提高生产率(吞吐量)
- 基于sMonitoring的数据采集、监测及分析
主要规格
规格项目 | 值* |
---|---|
发射波长 | 193 nm |
平均输出功率 | 45 – 90 W |
脉冲能量 | 11.25 – 15 mJ |
发射频率 | 4,000 – 6,000 Hz |
光谱幅度(以 95 %能量累计,E95,) | ≤0.5 pm |
(*) 上述各规格值为代表值
规格书
厂家介绍
成立于2000年,Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来,Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源,并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。 此外,他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主,拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地,成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。
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