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GT45A

分类：激光器模块和系统

厂家： Gigaphoton

产地：日本

型号： GT45A

更新时间： 2024-08-30 10:58:07

标签：

激光器光源半导体光刻光电子

简介：

采用GT65A先进技术、通过高功能扩展性进一步提高生产率（晶圆输出）

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概述

GT45A是一款基于先进的ArF浸没式光刻光源GT65A平台，具备高功能扩展性的机型。通过搭载新型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术，可以在提高生产率的同时，减轻环境负荷。通过光谱宽度的稳定性改善、可变光谱技术、最高可达90W的高输出功率，满足客户的多样化需求。

参数

波长 / Wavelength : 193 nm
功率 / Power : 45-90 W

应用

1. 半导体激光光刻 2. 工业激光加工 3. 精密测量与实验 4. 光通信 5. 高速数据传输 6. 医疗成像 7. 材料加工

特征

1. 波长：193 nm 2. 功率范围：45-90 W 3. 具有高运转率和无氦气技术 4. 提供可变光谱技术 5. 优越的光谱稳定性 6. 高度适应各种行业需求 7. 兼容现有的光刻技术

详述

特色

延长模块寿命

标配GT65A引入且经过验证的模块寿命延长技术。有助于降低维护频率，提高生产率。

高功能扩展性

可以搭载GT65A可使用的功能和技术。

通过提高光谱宽度稳定性来改善CD均匀性
通过光谱宽度可变技术校正不同世代曝光机的对比度性能差异
通过发射频率6kHz和最高可达90W的高输出功率，进一步提高生产率（吞吐量）
基于sMonitoring的数据采集、监测及分析

主要规格

规格项目	值^*
发射波长	193 nm
平均输出功率	45 – 90 W
脉冲能量	11.25 – 15 mJ
发射频率	4,000 – 6,000 Hz
光谱幅度（以 95 %能量累计，E95,）	≤0.5 pm

(*) 上述各规格值为代表值

/nGT45A激光光刻光源是Gigaphoton公司推出的一款高效能产品，基于先进的ArF浸没式光刻技术。在现代半导体制造中，光刻是至关重要的工艺环节，而GT45A以其193nm的波长和最高可达90W的输出功率，能够高速且高精度地满足制造需求。该设备还拥有无氦气技术，进一步降低了对环境的影响，同时其可变光谱技术和优秀的光谱稳定性，使其在各类精密测量和材料加工中应用广泛。无论是高端的半导体生产还是新兴的医疗成像技术，GT45A都能够提供强大且可靠的支持，推动现代激光应用的前进。

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厂家介绍

成立于2000年，Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来，Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源，并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。此外，他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主，拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地，成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。

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