康斯坦茨大学(University of Konstanz)的研究人员通过研究通常会以噪音形式干扰实验的波动,发现了一种新型超快磁开关。
G60K
可达到以往产品的150%高输出且满足未来进一步输出要求的KrF光刻用光源
概述
参数
- 波长 / Wavelength : 248 nm
- 功率 / Power : 40-60 W
详述
主要特点
支持300片/h扫描型光刻机处理量所需的高输出
通过导入新型电源单元,可以实现60W输出功率,达到以往产品的150%。由此,厚膜光刻胶等低灵敏度光刻胶也能抑制处理量损耗,并有助于进一步提高生产性。
继承已有实绩且支持99.9%以上的可用性技术
以在现场高可用性和性能稳定性方面备受客户好评的机型、G41K技术为基础,实现在所有输出范围高达99.9%以上的可用性。还通过投入新技术,将模块寿命延长至200%,为提高可用性提供帮助。
提供可持续发展解决方案
该光源标配无氦技术,除可以防备稀有气体供给不足的风险外,还能通过气体消耗量削减技术实现更环保。
主要规格
规格项目 | 值* |
---|---|
振荡波长 | 248 nm |
输出 | 40W – 60W |
脉冲能量 | 10mJ – 15mJ |
振荡频率 | 4000Hz |
特点 | Continuous Reliability Improvement (CRI) Package 可持续发展解决方案 ・Helium Free Operation ・TGM Gas Management |
(*) 上述各规格值为代表值
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