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- 日本
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- Cyber Laser Inc
- Koshin Kogaku Co Ltd Sub of Yamaichi Electronics Co Ltd
- Kyosemi Opto America Corp
- Opto Science Inc
- Spectra Quest Lab Inc.
- 安立公司
- Furukawa Electric
- Gigaphoton
- Kimmon Koha
- Mitsubishi Electric
- Neoark Corporation
- Nichia Corporation
- NTT Electronics Corporation
- OXIDE Corporation
- Panasonic Corporation
- QD Laser
- Ricoh Company, Ltd.
- ROHM Semiconductor
- Santec Corporation
- Shinkoh Electronics
- Sony Semiconductor Solutions Corporation
- Spectronix
- Stanley Electric
- Toshiba Corporation
- 牛尾
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波长: 193 nm 功率: 60-90 W
先进产品制造目前仍继续应用摩尔定律,技术节点日益微细化。这些尖端产品对转印到晶圆上的曝光图案、特别是EPE(Edge Placement Error)具有很高的要求。作为光源通过降低直接影响EPE的CD LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness),为提高批量生产现场的成品率提供帮助。 新型浸没式曝光光源“GT66A”通过新开发的光学模块成功地将散斑对比度降低30%,减少了LER/LWR。还通过引入新的高度耐用零件,将模块的维护周期延长30%。由此实现进一步改善工序成品率、提高光源的可用性,为尖端节点批量生产的高生产性提供帮助。