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  • GT62A 6千赫兹准分子激光器60W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。

  • GT62A 6千赫兹准分子激光器90W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。

  • GT63A ArF准分子激光器60W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新车型GT63A是第五代车型,采用相同的注塑锁定平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在响应客户的需求,创造额外的价值:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进个客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;GT63A以其设计理念和高可靠性享誉全球,GT63A与之前的GT系列车型在同一平台上设计,以尽可能多地使用通用部件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。

  • GT63A ArF准分子激光器90W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新型号GT63A是第五代型号,采用相同的注锁平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在满足客户创造额外价值的需求:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;以其设计理念和高可靠性享誉全球。GT63A的设计平台与以前的GT系列型号相同,以便使用尽可能多的通用组件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。

  • GT64A ArF浸入式准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 20mJ 平均功率: 120W 最大重复率: 6000Hz

    GT64A提供业界较高的120W输出功率,具有高光束性能和稳定性。该产品的设计重点是性能、效率和减少环境影响,挑战总运营成本效率的极限。这是继承Gigaphoton的Timeless Injection Lock(TM)技术的第六代产品。基于GT平台著名的双腔架构、输出控制算法、光束对准技术,GT64A可提供120W的功率输出、卓越的光束性能和稳定性,以及业界一流的可靠性、恢复时间和模块寿命。

  • GT65A ArF准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 20mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    GT65A是使用注入锁定方法的第七代平台,安装了领先的技术,并通过可变光谱宽度(E95)带来的“曝光性能改进”和改进的稳定性、延长的模块寿命带来的“高可用性”以及无氦气带来的“降低的环境负荷”,为客户进一步提高了生产率(晶圆产量)。

  • KAL-55-A直接二极管激光器 半导体激光器
    日本
    中心波长: 0.375um 输出功率: 55mW

    Kimmon Koha蓝/紫激光系统提供375nm、405nm、445nm或448nm的工作波长。每个波长可用于圆形或椭圆形光束形状。蓝色/紫色激光系统在紧凑的设计中提供卓越的功率和波长稳定性。每个系统都包括用于自动功率控制(APC)和自动电流控制(ACC)的激光软件。所有激光器型号均提供出色的光束质量,可用于各种应用,M2系数小于1.2。

  • KAL-55C-A直接二极管激光器 半导体激光器
    日本
    中心波长: 0.375um 输出功率: 50mW

    Kimmon Koha蓝/紫激光系统提供375nm、405nm、445nm或448nm的工作波长。每个波长可用于圆形或椭圆形光束形状。蓝色/紫色激光系统在紧凑的设计中提供卓越的功率和波长稳定性。每个系统都包括用于自动功率控制(APC)和自动电流控制(ACC)的激光软件。所有激光器型号均提供出色的光束质量,可用于各种应用,M2系数小于1.2。

  • KBL-100-A直接二极管激光器 半导体激光器
    日本
    中心波长: 0.405um 输出功率: 100mW

    Kimmon Koha蓝/紫激光系统提供375nm、405nm、445nm或448nm的工作波长。每个波长可用于圆形或椭圆形光束形状。蓝色/紫色激光系统在紧凑的设计中提供卓越的功率和波长稳定性。每个系统都包括用于自动功率控制(APC)和自动电流控制(ACC)的激光软件。所有激光器型号均提供出色的光束质量,可用于各种应用,M2系数小于1.2。

  • KBL-90C-A直接二极管激光器 半导体激光器
    日本
    中心波长: 0.405um 输出功率: 90mW

    Kimmon Koha蓝/紫激光系统提供375nm、405nm、445nm或448nm的工作波长。每个波长可用于圆形或椭圆形光束形状。蓝色/紫色激光系统在紧凑的设计中提供卓越的功率和波长稳定性。每个系统都包括用于自动功率控制(APC)和自动电流控制(ACC)的激光软件。所有激光器型号均提供出色的光束质量,可用于各种应用,M2系数小于1.2。

  • KBL-S120C-A直接二极管激光器 半导体激光器
    日本
    中心波长: 0.405um 输出功率: 120mW

    Kimmon Koha蓝/紫激光系统提供375nm、405nm、445nm或448nm的工作波长。每个波长可用于圆形或椭圆形光束形状。蓝色/紫色激光系统在紧凑的设计中提供卓越的功率和波长稳定性。每个系统都包括用于自动功率控制(APC)和自动电流控制(ACC)的激光软件。所有激光器型号均提供出色的光束质量,可用于各种应用,M2系数小于1.2。

  • KBL-S130-A直接二极管激光器 半导体激光器
    日本
    中心波长: 0.405um 输出功率: 130mW

    Kimmon Koha蓝/紫激光系统提供375nm、405nm、445nm或448nm的工作波长。每个波长可用于圆形或椭圆形光束形状。蓝色/紫色激光系统在紧凑的设计中提供卓越的功率和波长稳定性。每个系统都包括用于自动功率控制(APC)和自动电流控制(ACC)的激光软件。所有激光器型号均提供出色的光束质量,可用于各种应用,M2系数小于1.2。

  • KCL-75C-A直接二极管激光器 半导体激光器
    日本
    中心波长: 0.445um 输出功率: 75mW

    Kimmon Koha蓝/紫激光系统提供375nm、405nm、445nm或448nm的工作波长。每个波长可用于圆形或椭圆形光束形状。蓝色/紫色激光系统在紧凑的设计中提供卓越的功率和波长稳定性。每个系统都包括用于自动功率控制(APC)和自动电流控制(ACC)的激光软件。所有激光器型号均提供出色的光束质量,可用于各种应用,M2系数小于1.2。

  • KCL-80-A 直接二极管激光器 半导体激光器
    日本
    中心波长: 0.445um 输出功率: 80mW

    Kimmon Koha蓝/紫激光系统提供375nm、405nm、445nm或448nm的工作波长。每个波长可用于圆形或椭圆形光束形状。蓝色/紫色激光系统在紧凑的设计中提供卓越的功率和波长稳定性。每个系统都包括用于自动功率控制(APC)和自动电流控制(ACC)的激光软件。所有激光器型号均提供出色的光束质量,可用于各种应用,M2系数小于1.2。

  • KDL-50C-A 直接二极管激光器 半导体激光器
    日本
    中心波长: 0.488um 输出功率: 50mW

    Kimmon Koha蓝/紫激光系统提供375nm、405nm、445nm或448nm的工作波长。每个波长可用于圆形或椭圆形光束形状。蓝色/紫色激光系统在紧凑的设计中提供卓越的功率和波长稳定性。每个系统都包括用于自动功率控制(APC)和自动电流控制(ACC)的激光软件。所有激光器型号均提供出色的光束质量,可用于各种应用,M2系数小于1.2。

  • KDL-55-A 直接二极管激光器 半导体激光器
    日本
    中心波长: 0.488um 输出功率: 55mW

    Kimmon Koha蓝/紫激光系统提供375nm、405nm、445nm或448nm的工作波长。每个波长可用于圆形或椭圆形光束形状。蓝色/紫色激光系统在紧凑的设计中提供卓越的功率和波长稳定性。每个系统都包括用于自动功率控制(APC)和自动电流控制(ACC)的激光软件。所有激光器型号均提供出色的光束质量,可用于各种应用,M2系数小于1.2。

  • 可调谐激光光源KLS-201A(1064)。 半导体激光器
    中心波脚: 1064nm 调谐范围: 1000 - 1100 nm 电源: 0.5dBm

    KLS-201A系列是可调谐激光光源,具有窄的光谱线宽和低的相对强度噪声(RIN),该产品较适合于需要高隔离度、偏振稳定性和调制的测量。

  • 可调谐激光光源KLS-201A(1220)。 半导体激光器
    中心波脚: 1220nm 调谐范围: 1180 - 1270 nm 电源: 0.5dBm

    KLS-201A系列是可调谐激光光源,具有窄的光谱线宽和低的相对强度噪声(RIN),该产品较适合于需要高隔离度、偏振稳定性和调制的测量。

  • 可调谐激光光源KLS-201A(CL波段)。 半导体激光器
    中心波脚: 1578nm 调谐范围: 1525 - 1630 nm 电源: 0.5dBm

    KLS-201A系列是可调谐激光光源,具有窄的光谱线宽和低的相对强度噪声(RIN),该产品较适合于需要高隔离度、偏振稳定性和调制的测量。

  • 可调谐激光光源KLS-201A(ES波段)。 半导体激光器
    中心波脚: 1465nm 调谐范围: 1400 - 1530 nm 电源: 0.5dBm

    KLS-201A系列是可调谐激光光源,具有窄的光谱线宽和低的相对强度噪声(RIN),该产品较适合于需要高隔离度、偏振稳定性和调制的测量。