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  • 多通道窄线宽可调谐激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Alnair Labs Corp
    插槽容量: 12 units 最大激光模块容量: 48 channels PC接口: USB PC接口: GPIB PC接口: Ethernet

    Multi-Channel Narrow-Linewidth Tunable Laser是一款高性能激光器,支持多达48个通道,适用于光通信、测量与测试等领域,具有可扩展的插槽配置,支持未来的通道扩展,主机可以级联以容纳超过160个通道,固件记忆“最后设置”,便于无障碍启动。

  • WLN-220C-35G-SM/PM-N23-R-XX 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Alnair Labs Corp
    工作波长: 1530~1563nm 输入信号类型: Continuous Wave (CW) 总输入功率水平: -35~-15dBm 输出功率@ -15dBm总输入功率: 12~22dBm 小信号增益@ -23dBm总输入功率: 33~35dB

    WLN-220C-35G-SM/PM-N23-R-XX是一款低噪声多波长C波段光放大器,适用于光通信、数据中心等多种应用。

  • 可调式光纤光栅滤波器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Alnair Labs Corp
    波长调谐范围: 10-20 nm 3dB带宽: 0.08-0.16 nm 峰值插入损耗: 2.5-8 dB 插入损耗变化: 0.2-0.5 dB 带外抑制: 23-26 dB

    可调式光纤光栅滤波器WTF-200,具有带通和带阻功能,波长调谐范围超过±10nm,适用于高功率定制。

  • CW近红外激光器 RIIX RIIY 半导体激光器
    日本
    厂商:Cyber Laser Inc
    中心波长: 1.064-1.3um 输出功率: 500-1000mW

    光纤输出型,可轻松安装在检测设备中。安装时间减少到30分钟或更少。安装了一个小而高效的隔离器。检查系统可以通过遮挡来自目标样本的反射光来获取高精度的图像。

  • 深紫外连续激光器ALTAIR 半导体激光器
    日本
    厂商:Cyber Laser Inc
    中心波长: 0.266um 输出功率: 1000mW

    一种全新的光源“牵牛星”可以成功地产生紫外到深紫外波段的连续波激光。一种新颖的赛博激光波长转换技术现在开始为高科技客户提供有价值的激光光源。牵牛星将给半导体工业和生物工业带来创新,因为它使微结构材料的检测和加工成为可能。

  • 高功率工业飞秒激光器IFRIT 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Cyber Laser Inc
    中心波长: 780nm 重复频率: 1 - 1 kHz 脉冲能源: 1mJ 能量稳定性: 0.9% 脉冲持续时间: 130fs

    飞秒激光器被期望用于高附加值应用,例如光通信器件、金属部件、透明材料和半导体的精密加工以及生物医学、化学、分析和测量用途。同时,到目前为止,飞秒技术仅限于科学领域,而不适用于必须具备长寿命和稳定性的工业领域。使用Cyber Laser的IFRIT,您可以在温度和湿度不受控制的典型工业环境中连续工作超过10000小时,并且在没有校准的情况下连续工作四个月。凭借世界一流的稳定性、免维护操作、长寿命和世界上较小的外形尺寸,飞秒激光IFRIT实现了许多以前无法想象的先进应用。

  • 193纳米高输出-低重复型GIGANEX 600W型激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 1000mJ 平均功率: 600W 最大重复率: 600Hz

    我们相信,通过整合Gigaphoton从制造准分子激光器作为半导体光刻光源中获得的技术和专有技术,并将该技术和专有技术与其客户的技术相结合,新创建的Giganex也可以在半导体光刻以外的领域产生新的创新,作为高性能DUV光源。由于Giganex系列是在Gigaphoton&Aposs GT平台上设计的,并且是为较大限度的通用性而设计的,因此可以预期它是高度可靠的。此外,它继承了GT系列的高输出和高振荡频率的特点,并有望实现更适合激光退火的设计。

  • 193纳米高重复型GIGANEX 600W型激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 100mJ 平均功率: 600W 最大重复率: 6000Hz

    我们相信,通过整合Gigaphoton从制造准分子激光器作为半导体光刻光源中获得的技术和专有技术,并将该技术和专有技术与其客户的技术相结合而新创建的Giganex,也可以在半导体光刻以外的领域产生新的创新,作为高性能DUV光源。由于Giganex系列是在Gigaphoton&Aposs GT平台上设计的,并且是为较大限度的通用性而设计的,因此可以预期它是高度可靠的。此外,它继承了GT系列的高输出和高振荡频率的特点,有望实现更适合激光退火的设计。

  • 248纳米高输出-低重复型GIGANEX 600W型激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 1000mJ 平均功率: 600W 最大重复率: 600Hz

    我们相信,通过整合Gigaphoton从制造准分子激光器作为半导体光刻光源中获得的技术和专有技术,并将该技术和专有技术与其客户的技术相结合,新创建的Giganex也可以在半导体光刻以外的领域产生新的创新,作为高性能DUV光源。由于Giganex系列是在Gigaphoton&Aposs GT平台上设计的,并且是为较大限度的通用性而设计的,因此可以预期它是高度可靠的。此外,它继承了GT系列的高输出和高振荡频率的特点,有望实现更适合激光退火的设计。

  • 308纳米高输出-低重复型GIGANEX 600W型激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: XeCl 波长: 308 nm 脉冲能源: 1000mJ 平均功率: 600W 最大重复率: 600Hz

    我们相信,通过整合Gigaphoton从制造准分子激光器作为半导体光刻光源中获得的技术和专有技术,并将该技术和专有技术与其客户的技术相结合而新创建的Giganex,也可以在半导体光刻以外的领域产生新的创新,作为高性能DUV光源。由于Giganex系列是在Gigaphoton&Aposs GT平台上设计的,并且是为较大限度的通用性而设计的,因此可以预期它是高度可靠的。此外,它继承了GT系列的高输出和高振荡频率的特点,有望实现更适合激光退火的设计。

  • 351纳米高输出-低重复型GIGANEX 600W型激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: XeF 波长: 351 nm 脉冲能源: 1000mJ 平均功率: 600W 最大重复率: 600Hz

    我们相信,通过整合Gigaphoton从制造准分子激光器作为半导体光刻光源中获得的技术和专有技术,并将该技术和专有技术与其客户的技术相结合,新创建的Giganex也可以在半导体光刻以外的领域产生新的创新,作为高性能DUV光源。由于Giganex系列是在Gigaphoton&Aposs GT平台上设计的,并且是为较大限度的通用性而设计的,因此可以预期它是高度可靠的。此外,它继承了GT系列的高输出和高振荡频率的特点,并有望实现更适合激光退火的设计。

  • G10K 1-kHz KrF准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 10W 最大重复率: 1000Hz

    稳定性和耐用性是准分子激光器较大的技术挑战,因为它使用氟、高压放电和深紫外线,所有这些都是高活性的。除了稳定性和耐用性外,用于光刻工具的准分子激光光源还需要激光束的高单色性和输出能量的高均匀性。作为世界上先进个满足所有这些要求的准分子激光光源,G10K自1997年上市以来,在光刻光源市场上赢得了极高的声誉。这一模式仍在世界各地的实地运作。

  • G20K 2 kHz KrF准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 20W 最大重复率: 2000Hz

    G20K具有高能量稳定性(±0.4%)和0.6 pm或更小的窄光谱带宽(FWHM),允许在高分辨率下曝光0.18µm几何结构。

  • G21K 2 kHz KrF准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 20W 最大重复率: 2000Hz

    用于0.13µm设计规则的2 kHz KrF准分子激光器

  • G41A 4-kHz ArF准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 5mJ 平均功率: 20W 最大重复率: 4000Hz

    4-kHz ARF准分子激光器,设计规则高达0.10µm

  • G41K-1H KrF 4 kHz准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 40W 最大重复率: 4000Hz

    作为第二代4-kHz准分子激光器G41K的升级版本,G41K-1H在G41K平台上安装了磁悬浮激光腔和高效缩线和监控模块作为标准功能,以实现40 W的高输出,比其他任何产品都高出一个等级。G41K-1H将每个光学模块的寿命延长到300亿个脉冲(比G41K长50%)。通过更换模块,G41K可在现场升级为G41K-1H。

  • G42A 4-kHz ArF准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 5mJ 平均功率: 20W 最大重复率: 4000Hz

    用于80-nm技术节点的4-kHz ARF准分子激光器

  • GT40A 4-kHz ArF准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 11.25mJ 平均功率: 45W 最大重复率: 4000Hz

    型号GT40A使用注入锁定谐振器(世界上先进个)作为光刻工具光源,以允许同时保持更窄的光谱带宽和更高的输出,这是传统技术难以实现的组合。此外,它提供了较低的峰值脉冲能量,减少了对光刻工具光学器件的损坏,从而实现了行业中较低的运行成本。型号GT40A还配备了新开发的高级自诊断功能,并大大提高了其可维护性,例如易于更换模块,以实现更高的可靠性和更长的正常运行时间。

  • GT60A 6 kHz准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    Gigaphoton公司开始批量生产GT40A不到一年,现已成功开发出GT60A,其重复率是GT40A的1.5倍。GT60A是较新一代型号,采用与GT40A相同的注入锁定平台,已被全球半导体行业的主要用户所接受。GT40A的设计理念和可靠性在业界广受好评,由于GT60A基于同一平台,较大限度地实现标准化,并能够使用通用组件,从而确保用户从一开始就实现高可靠性。

  • GT61A 6 kHz准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    在我们开始大规模生产和出货GT60A不到一年的时间里,Gigaphoton成功开发了GT61A。与GT60A相比,型号GT61A的光谱带宽提高了30%(E95%),激光室寿命更长,从而减少了停机时间和维护成本。GT61A是GT系列的第三代型号,采用了与GT40A和GT60A型号相同的注入锁定平台,这两个型号已经被全球半导体行业的主要用户所接受。GT系列的设计理念和可靠性在业界广受好评。由于基于相同的平台,GT61A较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件,从而确保用户从一开始就能实现高可靠性。