全部产品分类
GT61A 6 kHz准分子激光器 激光器模块和系统

GT61A 6 kHz准分子激光器

分类: 激光器模块和系统

厂家: Gigaphoton Inc.

产地: 日本

更新时间: 2024-04-19 14:40:59

立即咨询 获取报价 获取报价 下载规格书 下载规格书
收藏 收藏

概述

在我们开始大规模生产和出货GT60A不到一年的时间里,Gigaphoton成功开发了GT61A。与GT60A相比,型号GT61A的光谱带宽提高了30%(E95%),激光室寿命更长,从而减少了停机时间和维护成本。GT61A是GT系列的第三代型号,采用了与GT40A和GT60A型号相同的注入锁定平台,这两个型号已经被全球半导体行业的主要用户所接受。GT系列的设计理念和可靠性在业界广受好评。由于基于相同的平台,GT61A较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件,从而确保用户从一开始就能实现高可靠性。

参数

  • 混合气体 / Gas Mixture : ArF
  • 波长 / Wavelength : 193 nm
  • 脉冲能源 / Pulse Energy : 10mJ
  • 平均功率 / Average Power : 60W
  • 最大重复率 / Max Repetition Rate : 6000Hz

图片集

GT61A 6 kHz准分子激光器图1

规格书

下载规格书

厂家介绍

2000年,Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来,Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源,并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。 此外,他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主,拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地,成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。

相关产品

图片 名称 分类 制造商 参数 描述
  • 0.1gbps-100gbps aoc-transceiver误码率测试器 激光器模块和系统 0.1gbps-100gbps aoc-transceiver 误码率测试器 激光器模块和系统 Liverage Technology Inc

    IBERT X1 Mini是一款误码率测试仪(BERT),专为0.1Gbps至100Gbps的AOC测量而设计。有两个可互换的插槽板,分别包括QSFP和SFP端口。QSFP和SFP端口都遵循QSFP MSA和SFP MSA。用户界面允许通过USB电缆连接到PC来单独监控误码率、错误计数和计时器。还可以在用户界面中监控收发器模块的串行ID和数字诊断监视器。

  • 1、1.5、2微米的脉冲单频光纤激光器 激光器模块和系统 1、1.5、2微米的脉冲单频光纤激光器 激光器模块和系统 AdValue Photonics

    波长: 1550 nm

    脉冲单频光纤激光器设计用于在单纵模下提供较高的脉冲能量,具有强大的研究和工业应用能力。

  • 1微米飞秒光纤激光器 激光器模块和系统 1微米飞秒光纤激光器 激光器模块和系统 CALMAR Laser

    波长: 1030nm

    1µm飞秒光纤激光器是一种高质量、可靠的被动锁模光纤激光器。模块(FPL-M)系列具有对冲击和振动不敏感的坚固结构,并为苛刻的OEM应用(尤其是用于玻璃切割和消费电子制造的高功率皮秒激光器)提供了卓越的稳定性和可靠性。先进的工程设计和一致的制造工艺确保了OEM批量生产的较高质量标准。波长可以从1030到1065纳米之间选择。脉冲宽度在工厂可从0.7到10 ps之间选择,脉冲形状接近变换限制。定时抖动低至60 fs。重复频率可指定为20至80 MHz。FPL-M系列具有高达20 mW的输出功率,是需要低电源的应用中较经济的解决方案。射频同步输出作为触发信号提供。FPL-M系列既可以用作带有5 VDC电源的独立激光源,也可以用作单独的驱动器,或者作为OEM模块集成。

  • 1微米高功率亚瓦级飞秒光纤激光器 激光器模块和系统 1微米高功率亚瓦级飞秒光纤激光器 激光器模块和系统 CALMAR Laser

    波长: 1030nm

    1µm亚瓦特飞秒光纤激光器是一种高质量、可靠的被动锁模光纤激光器,输出功率为几百mW。该系列采用了对冲击和振动不敏感的坚固结构,为苛刻的应用提供了卓越的稳定性和可靠性。先进的工程设计和一致的制造工艺确保了OEM批量生产的较高质量标准。波长可以从1030到1065纳米之间选择。脉冲宽度在工厂可从0.2到>6 ps进行选择。定时抖动低至60 fs。重复频率可指定为10至50 MHz。射频同步输出作为触发信号提供。该模块系列可作为带有5 VDC电源的独立激光源或单独的驱动器使用,或作为OEM模块集成。

  • 1微米可调谐光纤激光器Varius-NL-1064T 激光器模块和系统 1微米可调谐光纤激光器Varius-NL-1064T 激光器模块和系统 OPTROMIX

    波长: 1030nm

    Varius-NL-10xx-T是波长可调谐的1030 nm-1110 nm连续光纤激光器。Varius的主要功能是波长调谐,步长为0.2 nm。

相关文章

立即咨询

加载中....