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G41K-1H KrF 4 kHz准分子激光器 激光器模块和系统

G41K-1H KrF 4 kHz准分子激光器

分类： 激光器模块和系统

厂家： Gigaphoton Inc.

产地： 日本

更新时间： 2024-08-28 14:52:43

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概述

作为第二代4-kHz准分子激光器G41K的升级版本，G41K-1H在G41K平台上安装了磁悬浮激光腔和高效缩线和监控模块作为标准功能，以实现40 W的高输出，比其他任何产品都高出一个等级。G41K-1H将每个光学模块的寿命延长到300亿个脉冲（比G41K长50%）。通过更换模块，G41K可在现场升级为G41K-1H。

参数

  • 混合气体 / Gas Mixture : KrF
  • 波长 / Wavelength : 248 nm
  • 脉冲能源 / Pulse Energy : 10mJ
  • 平均功率 / Average Power : 40W
  • 最大重复率 / Max Repetition Rate : 4000Hz

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厂家介绍

2000年，Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来，Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源，并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。 此外，他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主，拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地，成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。

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