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  • FOGALE Nanotech
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  • LIGHTSpEED 无图案表面检测解决方案 光学检测
    法国
    分类:光学检测
    厂商:FOGALE Nanotech

    LightSpeed是先进个无图案表面检测解决方案,它结合了暗场检测和先进的同步多普勒检测技术,以捕捉各种晶圆上的纳米级缺陷。作为UnitySC模块化LightSee系列的一部分,LightSpeed可作为独立工具使用,也可与其他UnitySC技术(如相移偏转法或明场共焦彩色2D检测)结合使用,作为集群的一部分。

  • 用于三维IC-TSV过程控制的TMAP-AP计量解决方案 光学检测
    法国
    分类:光学检测
    厂商:FOGALE Nanotech

    TMAP-API是用于3D IC/TSV工艺控制的完整计量解决方案,在性能、产量和拥有成本(COO)之间实现了较佳平衡。TMAP-AP可测量多层堆栈,并按其放置顺序进行区分。即使在高度扭曲的条件下,TMAP系列的先进设计也能在您需要的时间和地点提供可靠的测量。

  • TMAP NST3D非接触式全场计量解决方案 光学检测
    法国
    分类:光学检测
    厂商:FOGALE Nanotech

    TMAP NSTIS是一种基于光学显微镜的非接触式全场计量解决方案,能够在纳米尺度上进行表面形貌测量。TMAP NSTI突破了传统显微镜的界限,其性能超越了接触轮廓术,进入了AFM领域。