• IndyStar准分子激光器 激光器模块和系统
    美国
    厂商:相干公司
    重复率: 1000 Hz 波长: 193 nm 重量: 135 kg 脉冲能量: 8mJ 激光头尺寸: 974 x 381 x 838 mm (48.23 x 7.8 x 8.96 in.)

    获得坚固的、高负载周期的工业准分子激光器,设计用于193nm或248nm波长的高达2kHz的脉冲重复率应用。 生产线工具提供可靠性、寿命、易用性和先进的脉冲控制。IndyStar激光器被广泛用于喷油嘴钻孔、计量和光学测试。符合Semi-S2标准,可用于光罩检测和相关应用。

  • 准分子腔输出耦合器(XOC) 光学反射镜
    美国
    分类:光学反射镜
    通光孔径: > 85% of diameter 厚度公差: < ± 0.25 mm 基底/材料: UV grade MgF₂ UV grade CaF₂ 表面质量: < 20 / 10 直径公差: < + 0.00 / – 0.20 mm

    输出波长为193nm、248nm和308nm的激光器为准分子激光器。这些波长可用于微光刻、微制造和医疗设备等应用。在这些波长下,建议使用氟化钙或氟化镁基板作为腔内透射光学元件。用户可指定输出耦合器的反射率。请注意,Lambda 的高质量准分子激光器腔体涂层专为耐酸/氟而设计。

  • 准分子腔后视镜(XRM) 光学反射镜
    美国
    分类:光学反射镜
    通光孔径: > 85% of diameter 厚度公差: < ± 0.25 mm 基底/材料: UV Grade CaF2, MgF2 表面质量: < 20 / 10 直径公差: < + 0.00 / – 0.20 mm

    有193纳米、248纳米和308纳米准分子激光器。这些波长可用于微光刻、微制造和医疗设备等应用。在这些波长下,建议使用氟化钙或氟化镁基板作为腔内透射光学元件。后腔反射镜在激光波长下的反射率至少为99.5%。请注意,Lambda 的高质量准分子激光器腔体涂层是专为耐酸/氟而设计的。

  • G45K 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton
    波长: 248 nm 功率: 40-50 W

    4kHz KrF准分子激光器系列的第3代机型G45K,是一款旨在提高最尖端存储芯片的生产效率、功率最高可达50W的高功率机型。该机型通过延长模块的使用寿命和绿色技术,可以同时实现“提高生产率”和“减轻环境负荷”两大目标。

  • IPEX-700 SERIES 激光器模块和系统
    加拿大
    厂商:LightMachinery
    重量: 295 kg 冷却方式: Optional air cooling up to 25 Hz repetition rates Water cooling at higher repetition rates

    世界各地的顶尖研发科学家都在使用 LightMachinery 准分子激光器。 IPEX-700 系列激光器专为工业和研发环境中的中等工作周期操作而设计,具有高功率紫外激光加工和最先进的性能。IPEX 激光器采用 LightMachinery 的 exciPure™ 专利技术,具有超长的气体寿命、卓越的光学稳定性和精确的激光操作参数控制。 性能提高 10 倍、功能强大、可靠、结构紧凑、操作简单 操作准分子激光器的最大成本是激光气体消耗量(也称为动态气体寿命*)。 凭借我们的 exciPure™ 专利技术,LightMachinery 的气体使用量比同类激光器提高了 10 倍。 这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。

  • IPEX-800 SERIES 激光器模块和系统
    加拿大
    厂商:LightMachinery
    重量: 380-400 kg 冷却方式: 8X8 / 8X6 models:10 liters / minute, 5°- 20°C, 40- 60 psig;8X4 / 8X2 models:5 liters / minute, 5°- 20°C, 40- 60 psig

    IPEX 系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计,可提供高功率紫外激光加工,并具有先进的性能。 IPEX 激光器采用 LightMachinery 的 exciPure™ 技术,具有超长的气体寿命、卓越的光学稳定性和精确的激光器运行参数控制。 准分子激光器最大的运行成本是激光气体消耗量(也称为动态气体寿命*)。凭借exciPure™ 技术,LightMachinery 已将气体使用量提高到同类激光器的 10 倍。 这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。 安装在光学器件端口的 EasyClean 自动阀门可以密封激光器腔体,并在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充。IPEX-800 激光器使用方便、维护简单、运行经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和最长的正常运行时间相结合。

  • MLI- 200 / 500 / 1000 激光器模块和系统
    德国
    厂商:Mlase
    重复率: 200-1000 Hz 波长: 193-248 nm 功率: 1.2-10 W 脉冲能量: 6-10mJ

    MLase 现代化的紧凑型 MLI 准分子激光器是波长为 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,脉冲能量高达 16 mJ,脉冲重复频率高达 1,000 Hz。 它们是市场上使用寿命长、可靠性高、运行成本低的独立设备。其均匀的钢型和能量稳定性使其非常适合要求苛刻的应用。 此外,我们的 LC 准分子激光系统还能主动水冷却(使用生活用水或外部热交换器;无需纯净水),以实现稳定的连续运行。

  • MLI- 500LC / 1000LC 激光器模块和系统
    德国
    厂商:Mlase
    重复率: 500-1000 Hz 波长: 193-248 nm 功率: 3-10 W 脉冲能量: 6-10mJ

    MLase 现代化的紧凑型 MLI 准分子激光器是波长为 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,脉冲能量高达 16 mJ,脉冲重复频率高达 1,000 Hz。 它们是市场上使用寿命长、可靠性高、运行成本低的独立设备。其均匀的钢型和能量稳定性使其非常适合要求苛刻的应用。 此外,我们的 LC 准分子激光系统还能主动水冷却(使用生活用水或外部热交换器;无需纯净水),以实现稳定的连续运行。

  • CL 7000准分子激光器 激光器模块和系统
    俄罗斯
    厂商:OptoSystems
    混合气体: ArF, XeCl, KrF 波长: 193 nm, 308 nm, 248 nm 脉冲能源: 250-400mJ 平均功率: 35W 最大重复率: 100Hz

    准分子激光器。

  • CLS 5000准分子激光器 激光器模块和系统
    俄罗斯
    厂商:OptoSystems
    混合气体: ArF, XeCl, KrF 波长: 193 nm, 308 nm, 248 nm 脉冲能源: 12-25mJ 平均功率: 6-12.5W 最大重复率: 500Hz

    准分子激光器。

  • CLS 5100N 准分子激光器 激光器模块和系统
    俄罗斯
    厂商:OptoSystems
    重复率: 0-1000 Hz 波长: 248.4 nm 光束直径: 10 ± 1 mm height 3 ± 0.5 mm width 脉冲能量: 5mJ 激光头尺寸: 1025 × 450 × 610mm

    CLS 5100N 是一款optosystems公司的准分子激光器 窄线宽 中心波长调谐在±40pm以内。

  • WinCamD + BSF系列UV转换器 光电转换器
    美国
    分类:光电转换器
    厂商:DataRay
    相机分辨率: 2 μm 晶体线性: 5 to 6 decades 长期晶体稳定性: >107 pulses 光束尺寸: 50 μm to 33 x 33 mm 高动态范围调整: f/2.8 to f/28

    WinCamD + BSF Series UV Converters具有高分辨率和高动态范围调整。UV光束照射在定制的薄晶体面板上,该面板在可见光中发光。这种晶体荧光被重新成像到相机上。适用于准分子激光器和紫外线光束。