准分子腔输出耦合器（XOC）

分类：光学反射镜

厂家： Lambda Research Optics

产地：美国

型号：准分子腔输出耦合器（XOC）

更新时间： 2024-08-30 09:53:36

简介：

输出耦合器（腔内），用于193nm, 248nm, 308nm准分子激光器氟化钙或氟化镁基底

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概述

输出波长为193nm、248nm和308nm的激光器为准分子激光器。这些波长可用于微光刻、微制造和医疗设备等应用。在这些波长下，建议使用氟化钙或氟化镁基板作为腔内透射光学元件。用户可指定输出耦合器的反射率。请注意，Lambda 的高质量准分子激光器腔体涂层专为耐酸/氟而设计。

参数

通光孔径 / Clear Aperture : > 85% of diameter
厚度公差 / Thickness Tolerance : < ± 0.25 mm
基底/材料 / Substrate/Material : UV grade MgF₂ UV grade CaF₂
表面质量 / Surface Quality : < 20 / 10
直径公差 / Diameter Tolerance : < + 0.00 / – 0.20 mm
表面平整度 / Surface Flatness : < λ / 10 @ 633 nm
尺寸公差 / Dimension Tolerance : 0.5" dia x 3.0mm t, 20.0mm dia x 3.6mm t, 1.0" dia x 3.0mm t, 36.0mm dia. X 5.5mm t, 1.5" dia x 5.5mm t, 2.0" dia x 0.375" t
波长范围 / Wavelength Range : 193 nm, 248 nm, 308 nm

详述

反射镜用于反射不同应用的光线。镜面涂层的设计目的是反射整个波长的光；但有时也会对其进行改装，以反射特定区域的光。根据涂层材料的不同，可以获得特定波长的反射和吸收。最常见的涂层材料包括铝、金和银，其范围可扩展至所有电介质材料。

在更高的范围内：紫外、可见光和红外光谱区需要高质量的光学反射镜。反射镜的金属镀层必须在最宽的光谱区域内具有高反射率，而宽带电介质反射镜的工作光谱范围较窄。一般来说，指定区域的平均反射率大于99%。不同的应用包括：成像、干涉测量、转向或照明。这些应用有助于太阳能、半导体、天文学、计量学或生命科学等众多行业。

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厂家介绍

Lambda Research Optics由一群从事电子光学业务超过25年的专业人士创建。我们专注于制造用于整个光谱的光学元件。从真空紫外到远红外，我们了解光学、光学材料和光学涂层。我们的工作很简单，就是为客户提供他们研究、开发或制造产品所需的元件。

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