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IndyStar准分子激光器 激光器模块和系统

IndyStar准分子激光器

分类: 激光器模块和系统

厂家: 相干公司

产地: 美国

型号: IndyStar

更新时间: 2024-08-25 03:41:50

在193 nm 或 248 nm处操作,重复率高达2 kHz ,功率高达12W。

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概述

获得坚固的、高负载周期的工业准分子激光器,设计用于193nm或248nm波长的高达2kHz的脉冲重复率应用。 生产线工具提供可靠性、寿命、易用性和先进的脉冲控制。IndyStar激光器被广泛用于喷油嘴钻孔、计量和光学测试。符合Semi-S2标准,可用于光罩检测和相关应用。

参数

  • 重复率 / Repetition Rate : 1000 Hz
  • 波长 / Wavelength : 193 nm
  • 重量 / Weight : 135 kg
  • 脉冲能量 / Pulse Energy : 8mJ
  • 激光头尺寸 / Laser Head Dimension : 974 x 381 x 838 mm (48.23 x 7.8 x 8.96 in.)
  • 冷却方式 / Cooling Method : Air/Water
  • 能量稳定性 / Energy Stability : <2%

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厂家介绍

Coherent,Inc.是领先的激光和激光技术供应商之一,为科学、商业和工业客户在较苛刻的市场中竞争。我们的激光应用和工具提供先进的解决方案,将您的业务平台提升到新的水平。

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