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CLS 5000准分子激光器 激光器模块和系统
精品

CLS 5000准分子激光器

分类： 激光器模块和系统

厂家： OptoSystems

产地： 俄罗斯

更新时间： 2024-08-27 16:24:25

标签：

科学研究 高重复频率 医疗应用 材料加工 准分子激光器 高光束稳定性 微电子制造

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概述

准分子激光器。

参数

  • 混合气体 / Gas Mixture : ArF, XeCl, KrF
  • 波长 / Wavelength : 193 nm, 308 nm, 248 nm
  • 脉冲能源 / Pulse Energy : 12-25mJ
  • 平均功率 / Average Power : 6-12.5W
  • 最大重复率 / Max Repetition Rate : 500Hz
  • 脉宽 / Pulse Duration : 10-12ns

应用

1. 材料加工 2. 科学研究 3. 医疗应用 4. 微电子制造

特征

1. 高光束指向稳定性 2. 高光束位置稳定性 3. 高重复频率 4. 固态高压开关 5. 紧凑设计 6. 内置无油真空泵和卤素过滤器 7. 内置能量检测器 8. 功率稳定性 9. 计算机控制

详述

CLS 5000是一款高性能的准分子激光器，适用于材料加工、科学研究、医疗应用和微电子制造。它具有高光束指向稳定性和高光束位置稳定性，能够在高重复频率下工作。该激光器设计紧凑，配备固态高压开关和内置无油真空泵，确保了设备的可靠性和稳定性。同时，CLS 5000还具有内置能量检测器和计算机控制功能，使其操作更加简便。无论是在工业制造还是科研领域，CLS 5000都能提供卓越的性能和可靠的解决方案。

规格书

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厂家介绍

准分子和二氧化碳激光器、二极管泵浦固体激光器、皮秒和飞秒激光器、高压电源和眼科激光器。

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