准分子腔后视镜（XRM）

产地：美国

型号：准分子腔后视镜（XRM）

更新时间： 2024-08-25 03:42:06

简介：

ArF（193nm）、KrF（248nm）或XeCl（308nm）准分子激光器的后反射镜（腔内）、或XeCl（308nm）准分子激光器的后镜（腔内氟化钙或氟化镁基底

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概述

有193纳米、248纳米和308纳米准分子激光器。这些波长可用于微光刻、微制造和医疗设备等应用。在这些波长下，建议使用氟化钙或氟化镁基板作为腔内透射光学元件。后腔反射镜在激光波长下的反射率至少为99.5%。请注意，Lambda 的高质量准分子激光器腔体涂层是专为耐酸/氟而设计的。

参数

通光孔径 / Clear Aperture : > 85% of diameter
厚度公差 / Thickness Tolerance : < ± 0.25 mm
基底/材料 / Substrate/Material : UV Grade CaF2, MgF2
表面质量 / Surface Quality : < 20 / 10
直径公差 / Diameter Tolerance : < + 0.00 / – 0.20 mm
表面平整度 / Surface Flatness : < λ / 10 @ 633 nm
尺寸公差 / Dimension Tolerance : 0.5″ dia x 3.0mm t, 20.0mm dia x 3.6mm t, 1.0″ dia x 3.0mm t, 36.0mm dia. X 5.5mm t, 1.5″ dia x 5.5mm t, 2.0″ dia x 9.5mm t
波长范围 / Wavelength Range : 193 nm, 248 nm, 308 nm

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厂家介绍

Lambda Research Optics由一群从事电子光学业务超过25年的专业人士创建。我们专注于制造用于整个光谱的光学元件。从真空紫外到远红外，我们了解光学、光学材料和光学涂层。我们的工作很简单，就是为客户提供他们研究、开发或制造产品所需的元件。

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