IPEX-700 SERIES

分类：激光器模块和系统

厂家： LightMachinery

产地：加拿大

型号： IPEX-700 SERIES

更新时间： 2024-08-30 11:24:06

简介：

IPEX-700 准分子激光器

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厂家介绍

概述

世界各地的顶尖研发科学家都在使用 LightMachinery 准分子激光器。 IPEX-700 系列激光器专为工业和研发环境中的中等工作周期操作而设计，具有高功率紫外激光加工和最先进的性能。IPEX 激光器采用 LightMachinery 的 exciPure™ 专利技术，具有超长的气体寿命、卓越的光学稳定性和精确的激光操作参数控制。性能提高 10 倍、功能强大、可靠、结构紧凑、操作简单操作准分子激光器的最大成本是激光气体消耗量（也称为动态气体寿命*）。凭借我们的 exciPure™ 专利技术，LightMachinery 的气体使用量比同类激光器提高了 10 倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。

参数

重量 / Weight : 295 kg
冷却方式 / Cooling Method : Optional air cooling up to 25 Hz repetition rates Water cooling at higher repetition rates

详述

安装在光学器件端口的 EasyClean 自动阀门可在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时密封激光腔并保留气体填充。IPEX-700 激光器使用方便、维护简单、运行经济，将高精度准分子加工的优势与当今市场上最低的总拥有成本和最长的正常运行时间相结合。

IPEX-700 是脉冲激光沉积（PLD）等应用的理想之选。 IPEX-700 可在任何使用 Windows 的计算机上操作。随附的 Microsoft Surface Pro 4 平板电脑可为您提供方便。

* 动态气体寿命是指激光器运行时的气体使用量。静态气体寿命是指不运行激光时的气体使用量。

规格

Specifications

Wavelength	193nm ArF	248nm KrF	308 XeCl	351 XeF
Maximum Pulse Energy (mJ) IPEX-740	230	475	300	275
Maximum Pulse Energy (mJ) IPEX-760	250	700	600	350
Stabilized Pulse Energy (mJ) IPEX-740	150	400	250	225
Stabilized Pulse Energy (mJ) IPEX-760	200	600	500	300
Stabilized Average Power (W)
IPEX-746	15	40	25	22
IPEX-744	7.5	20	12	11
IPEX-742	3.7	10	6	5.5
IPEX-766	10	30	25	15
IPEX-764	6	18	10	9
IPEX-762	3	9	5	4.5
Maximum Repetition Rate (Hz)
IPEX-746	100	100	100	100
IPEX-744	50	50	50	50
IPEX-742	25	25	25	25
IPEX-766	50	50	50	50
IPEX-764	30	30	20	30
IPEX-762	15	15	10	15

Pulse Duration: 12 to 20 ns FWHM
Energy Stability, 1 Sigma: 1% (KrF)
Beam Dimensions (mm) (V x H): IPEX-740 Series 12 x 26
Beam Dimensions (mm) (V x H): IPEX-760 Series 12 x 28
Beam Divergence (mrad) (V x H): 1 x 3 or can be reduced to 0.25mrad with high brightness unstable resonator optics
Electrical Power Requirements: Single Phse, 200 - 240 V 50/60Hz
Cooling Requirements: Optional air cooling to 25Hz operation, water cooling at higher rep rates
Laser Gas: Premix or individual cylinders
Weight: 295kg (650lbs)

特点
exciPure™ 技术可延长 10 倍气体寿命，运行成本最低
无需昂贵的低温气体净化器
EasyClean 自动光学器件密封可保持气体填充，减少光学器件维护期间的停机时间
光学器件维护
可选高亮度光学器件，用于要求低光束发散或延长相干长度的应用
高稳定性光学镜架，可实现极高的光束指向精度
与工业处理系统的简单集成
Microsoft® Surface Pro 4 遥控器，可作为平板电脑或使用键盘进行操作，操作极为简便
优点
动态气体寿命长，运行成本低
简化光学维护，保持气体填充和钝化
提供 200 微弧度的指向稳定性
清洁或更换光学器件后无需重新校准
在内部、猝发和外部触发模式下实现快速、精确的能量稳定
出色的能量稳定性，优于 1.0%（KrF）
清除微粒，保持光学器件清洁度

应用
脉冲激光沉积
精密制造
材料加工
钻孔
剥线
科学研究
激光雷达
激光诱导击穿光谱仪

示意图

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厂家介绍

LightMachinery的创始人几乎在整个职业生涯中都在一起工作。LightMachinery的许多人都是从安大略省坎纳塔的Lumonics开始设计和制造高功率二氧化碳和准分子激光系统的。我们团队的另一组成员来自一家名为Interoptics的公司，该公司由LightMachinery的创始人之一Jeff Wimperis创建。Interoptics后来被Lumonics收购，并更名为WavePrecision.

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