IPEX-800 SERIES

分类：激光器模块和系统

厂家： LightMachinery

产地：加拿大

型号： IPEX-800 SERIES

更新时间： 2024-08-25 17:46:23

简介：

IPEX-800 准分子激光器高占空比，全天候高功率运行，超低气体用量

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概述

IPEX 系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计，可提供高功率紫外激光加工，并具有先进的性能。 IPEX 激光器采用 LightMachinery 的 exciPure™ 技术，具有超长的气体寿命、卓越的光学稳定性和精确的激光器运行参数控制。准分子激光器最大的运行成本是激光气体消耗量（也称为动态气体寿命*）。凭借exciPure™ 技术，LightMachinery 已将气体使用量提高到同类激光器的 10 倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的 EasyClean 自动阀门可以密封激光器腔体，并在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充。IPEX-800 激光器使用方便、维护简单、运行经济，将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和最长的正常运行时间相结合。

参数

重量 / Weight : 380-400 kg
冷却方式 / Cooling Method : 8X8 / 8X6 models：10 liters / minute, 5°- 20°C, 40- 60 psig；8X4 / 8X2 models：5 liters / minute, 5°- 20°C, 40- 60 psig

详述

规格

Specifications

Wavelength	193nm ArF	248nm KrF	308 XeCl	351 XeF
Maximum Pulse Energy (mJ) IPEX-840	230	450	300	275
Maximum Pulse Energy (mJ) IPEX-860	250	700	600	350
Stabilized Pulse Energy (mJ) IPEX-840	150	400	250	225
Stabilized Pulse Energy (mJ) IPEX-860	200	600	500	300
Stabilized Average Power (W)
IPEX-848	30	80	50	45
IPEX-846	15	40	25	22
IPEX-844	6.0	20	12	11
IPEX-842	3.0	10	6.0	5.5
IPEX-868	20	60	50	30
IPEX-866	10	30	25	15
IPEX-864	5.0	18	10	9
IPEX-862	2.5	9.0	5.0	4.5
Maximum Repetition Rate (Hz)
IPEX-848	200	200	200	200
IPEX-846	100	100	100	100
IPEX-844	40	50	50	50
IPEX-842	20	25	25	25
IPEX-868	100	100	100	100
IPEX-866	50	50	50	50
IPEX-864	25	30	20	30
IPEX-862	12	15	10	15

Pulse Duration: 12 to 20 ns FWHM
Energy Stability, 1 Sigma: 1% (KrF)
Beam Dimensions (mm) (V x H): IPEX-840 Series 12 x 26
Beam Dimensions (mm) (V x H): IPEX-860 Series 12 x 28
Beam Divergence (mrad) (V x H): 1 x 3 or can be reduced to 0.25mrad with high brightness unstable resonator optics
Electrical Power Requirements: Single Phase, 200 - 240 V 50/60Hz; 8x6:2.5kW, 8x4:1.5kW. 8x2:1kW
Cooling Requirements: Optional air cooling to 25Hz operation, water cooling at higher rep rates
Laser Gas: Premix or individual cylinders
Weight: 8x8 models 400kg , 8x6/8x4/8x2 models: 380kg

特点
exciPure™ 技术可实现惊人的 10 倍气体寿命和最低的运行成本
无需昂贵的低温气体净化器
EasyClean 自动光学器件密封可保持气体填充，减少光学器件维护期间的停机时间
光学器件维护
可选高亮度光学器件，用于要求低光束发散或延长相干长度的应用
高稳定性光学镜架可实现极高的光束指向精度
易于集成到工业处理系统中

优点
延长气体寿命，更换周期长，运行成本低
简化光学维护，保持气体填充和钝化
提供 200 微弧度的指向稳定性
清洁或更换光学器件后无需重新校准
在内部、突发和外部触发模式下快速、精确地稳定能量
出色的能量稳定性，优于 1.0%（KrF）
清除微粒，保持光学器件清洁度

应用
全天候脉冲激光沉积
精密制造
材料加工
钻孔
剥线
科学研究
激光雷达
激光诱导击穿光谱仪

规格书

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厂家介绍

LightMachinery的创始人几乎在整个职业生涯中都在一起工作。LightMachinery的许多人都是从安大略省坎纳塔的Lumonics开始设计和制造高功率二氧化碳和准分子激光系统的。我们团队的另一组成员来自一家名为Interoptics的公司，该公司由LightMachinery的创始人之一Jeff Wimperis创建。Interoptics后来被Lumonics收购，并更名为WavePrecision.

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