光电查为您提供5个产品。下载资料，获取报价，实现功能、价格及供应的优化选择。

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  Bpure系列管/清洗工具

  美国

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Akrion Systems LLC

  适用部件: 200 mm和300 mm管道和船只 适用材料: 石英，SiC 技术市场: 模拟IC，数字IC，功率IC，MEMS，先进封装 稳定性: ≥99% 生产优势: 完全自动化过程控制，封闭设计以改善工作环境，有效保障操作人员安全，较低的维护成本，灵活便利的配方编辑器，支持并行作业，适用于各种尺寸的部件清洗

  Bpure系列管道/清洗工具提供定制清洗，适用于200 mm和300 mm的石英管和船只，适合模拟IC、数字IC等技术市场。

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  GAMA自动化湿站

  美国

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Akrion Systems LLC

  适用基板尺寸: 150 mm, 200 mm, 300 mm 适用材料: Silicon 适用材料: Glass 技术市场: Analog IC, Power IC, MEMS, R&D

  GAMA系列自动湿站是一种灵活的模块化系统，适用于裸硅和回收硅晶圆、集成电路(IC)设备、微机电系统(MEMS)和光掩模的多种清洗、蚀刻和剥离应用。

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  PINNACLE®无载体湿式工作站

  美国

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Akrion Systems LLC

  适用基板尺寸: 200 & 300 mm 应用化合物: Si and others 技术市场: Digital IC & Analog IC 批量大小: 50 wafers

  PINNACLE® CARRIERLESS WET STATION是一款专为数字和模拟集成电路制造设计的湿法处理站，具备自动化和无载体特性，确保最佳工艺结果。

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  SAQUA单晶片系统

  美国

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Akrion Systems LLC

  基底尺寸: 300 mm 适用材料: Silicon 清洗特征尺寸: ≥14 nm 颗粒去除效率: >99% 化学回收效率: >99.5%

  SAQUA系列300mm单片清洗系统利用单片、精确控制的旋喷湿清洗技术去除多种金属蚀刻后颗粒和副产品。

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  V3紧凑型批量浸泡系统

  美国

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Akrion Systems LLC

  适用基板尺寸: 150 mm, 200 mm 适用材料: Silicon, SiC, Glass, Sapphire (LED) 工艺: RCA Clean 工艺: Oxide Etch

  V3 Compact Batch Immersion System 提供干到干或干到湿的处理，具有低排气要求、少量设施连接和易于维护的特点，同时在占地面积上比可比工具集减少多达20%。