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V3紧凑型批量浸泡系统 激光器模块和系统

V3紧凑型批量浸泡系统

分类： 激光器模块和系统

厂家： Akrion Systems LLC

产地： 美国

型号： V3 Compact Batch Immersion System

更新时间： 2024-12-04 09:42:11

标签：

光电 MEMS 半导体 研发 处理系统 IC设计

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概述

V3 Compact Batch Immersion System 提供干到干或干到湿的处理，具有低排气要求、少量设施连接和易于维护的特点，同时在占地面积上比可比工具集减少多达20%。

参数

  • 适用基板尺寸 / Substrate Size : 150 mm, 200 mm
  • 适用材料 / Applicable Material : Silicon, SiC, Glass, Sapphire (LED)
  • 工艺 / Processes : RCA Clean
  • 工艺 / Processes : Oxide Etch

应用

1. 研发实验室 2. 模拟IC 3. 功率IC 4. MEMS

特征

1. 使用与我们高度可靠的GAMA系列产品线相同的子系统 2. 易于访问的可维护性 3. 可根据需求进行升级和重新配置 4. 支持多种化学品、工艺/配方和灵活配置

详述

V3 Compact Batch Immersion System 是一款先进的光电处理系统，特别适合于研发实验室和各种半导体应用。该系统能够处理150 mm和200 mm的硅、SiC、玻璃和蓝宝石材料，具有干到干或干到湿的灵活处理方式。其设计旨在减少占地面积，降低设施连接需求，并提供便捷的维护服务。V3系统的可靠性源于其与GAMA系列产品相同的子系统，使其在多个工艺和配方上具备优越的性能。无论是模拟IC、功率IC还是MEMS应用，V3系统都能满足高效处理的需求，是现代光电行业不可或缺的工具。

图片集

V3 Compact Batch Immersion System图1

规格书

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厂家介绍

Krion Technologies是一家领先的供应商，提供用于微电子设备制造的先进晶圆表面处理解决方案。我们开发的定制设备、软件和工艺解决方案使我们的客户能够在150/200/300mm基板上实现其独特的研发/生产目标，无论是裸露的还是图案化的，以精确去除微污染物或块状薄膜。

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