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Bpure系列管/清洗工具 激光器模块和系统

Bpure系列管/清洗工具

分类: 激光器模块和系统

厂家: Akrion Systems LLC

产地: 美国

型号: Bpure Series Tube/Boat Cleaning Tool

更新时间: 2024-12-04 09:39:17

光电设备 清洗工具 自动化清洗 石英材料 扩散炉

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概述

Bpure系列管道/清洗工具提供定制清洗,适用于200 mm和300 mm的石英管和船只,适合模拟IC、数字IC等技术市场。

参数

  • 适用部件 / Applicable Parts : 200 mm和300 mm管道和船只
  • 适用材料 / Applicable Materials : 石英,SiC
  • 技术市场 / Technology Markets : 模拟IC,数字IC,功率IC,MEMS,先进封装
  • 稳定性 / Stability : ≥99%
  • 生产优势 / Production Advantages : 完全自动化过程控制,封闭设计以改善工作环境,有效保障操作人员安全,较低的维护成本,灵活便利的配方编辑器,支持并行作业,适用于各种尺寸的部件清洗

应用

1. 清洗200 mm和300 mm的石英管和船只 2. 可用于清洗其他石英材料,如基座、盖子、喷嘴、石英板、点火枪、保温桶等。

特征

1. 完全自动化过程控制 2. 封闭设计以改善工作环境 3. 高稳定性,正常运行时间≥99%,降低维护成本 4. 配方编辑器灵活便利,支持并行作业 5. 适用于多种尺寸的部件清洗

详述

Bpure系列管道/清洗工具是Akrion Technologies推出的先进清洗解决方案,专为清洗关键扩散炉组件而设计。该系列工具支持200 mm和300 mm的石英管及船只的定制清洗,适用于多种石英材料。它的全自动化过程控制和封闭设计不仅提高了工作环境的安全性,还确保了操作人员的安全。Bpure系列的高稳定性和较低的维护成本使其成为行业内的理想选择。此外,灵活的配方编辑器和支持并行作业的功能,使得清洗过程更加高效和便利。无论是模拟IC、数字IC,还是MEMS和先进封装市场,Bpure系列都能满足不同客户的需求,提供优质的清洗效果。

图片集

Bpure Series Tube/Boat Cleaning Tool图1

规格书

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厂家介绍

Krion Technologies是一家领先的供应商,提供用于微电子设备制造的先进晶圆表面处理解决方案。我们开发的定制设备、软件和工艺解决方案使我们的客户能够在150/200/300mm基板上实现其独特的研发/生产目标,无论是裸露的还是图案化的,以精确去除微污染物或块状薄膜。

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