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概述
参数
- 气体填充 / Gas Fill : Xenon
- 峰值波长 / Peak Wavelengths : 147.0NM
- 全光谱范围 / Full Spectral Range : 116.5-7000NM
- VUV光强 / VUV Intensity : 5x1016-5x1017Photons/sec/sr
- 输出角度范围 / Full Angle Output Cone : 30-65Degrees
- 窗口材料 / Window Material : MgF2
- 窗口清晰口径 / Clear Aperture Of Window : 0.4-1.8CM
- 脉冲调制 / Pulse Modulation : to 1kHz available as option
- 等离子体深度 / Plasma Depth Behind Face Of Front Flange : 2.0-4.0CM
- 等离子体直径 / Plasma Diameter : 0.9-4CM
- 等离子体长度 / Plasma Length : 3-10CM
- 输入功率 / Input Power : 25-120Watts
- 输入电压 / Input Voltage : 70-260VAC
- 输入线频率 / Input Line Frequency : 50-65Hz
- 安装法兰 / Mounting Flange : 6 inch Conflat is standard
- 冷却 / Cooling : Forced air cooling with internal fan
- 强度监控 / Intensity Monitor : available as an option
- 热控制 / Thermal Control : na
- 系统完整性 / System Complete : system includes power supply
- 系统完整性 / System Complete : EMI shielded enclosure
- 系统完整性 / System Complete : Vacuum flange and NIST Traceable calibration
- 机械规格尺寸 / CF Flange : 6.0Inches
- 射频激励器 / RF Exciter : na
- 冷却风扇 / Cooling Fan : na
- 灯泡尺寸 / Lamp Bulb : na
- 尺寸公差 / Tolerances : ±0.005Inches
- 窗口 / Window : Magnesium Flouride
- 主体材料 / Body : Aluminum
- Mass / Mass : 5kg
- 真空适配器 / Vacuum Adapters : Stainless Steel
应用
1.光电离 2.光刻 3.质谱分析
特征
1.高强度深紫外线(VUV)发射 2.可靠且免维护 3.适用于多种真空应用 4.可选脉冲调制至1kHz 5.内置风扇强制空气冷却
详述
规格书
厂家介绍
Resonance有限公司提供全系列的极紫外（EUV）、真空紫外（VUV）、紫外（UV）、可见光（Vis）和红外（IR）组件和系统，专注于定制解决方案，并以现成产品的价格提供服务。凭借在光电技术领域超过35年的经验和高技能多样化的团队，我们能够为最苛刻的需求提供高水平和创新的解决方案。我们的产品广泛应用于全球各类项目，用于测试、测量和研究，深受学术界、航空航天、私人及企业机构的信赖。
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