KrCM-LHP 高功率氪真空紫外(VUV)连续光源

分类：紫外线系统

厂家： Resonance

产地：美国

型号： KrCM-LHP

更新时间： 2024-08-23 17:22:09

标签：

光刻真空应用光电离质谱高强度VUV发射

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概述

Resonance Ltd的KrCM-LHP氪气射频激发灯系统是一种可靠且免维护的深紫外线强光源，发射波长范围从116.5到170纳米。该源可安装到6英寸CF法兰或Acton/Mcpherson法兰，方便连接到超高真空系统。通过输出窗口提供超过100毫瓦的VUV通量，用于真空应用，如光电离、光刻和质谱分析。

参数

气体填充 / Gas Fill : Krypton
峰值波长 / Peak Wavelengths : 116-170NM
全光谱范围 / Full Spectral Range : 116.5-7,000NM
VUV光强 / VUV Intensity : 4x1016-4x1017Photons/sec/sr
输出角度范围 / Full Angle Output Cone : 30-65Degrees
窗口材料 / Window Material : MgF2
窗口清晰口径 / Clear Aperture Of Window : 0.4-1.8CM
输入功率 / Input Power : 25-120Watts
输入电压 / Input Voltage : 70-260VAC
输入线频率 / Input Line Frequency : 50-65Hz
等离子体深度 / Plasma Depth Behind Face Of Front Flange : 2.0-4.0CM
等离子体直径 / Plasma Diameter : 0.9-4CM
等离子体长度 / Plasma Length : 3-10CM

应用

1. 光电离 2. 光刻 3. 质谱分析

特征

1. 可靠且免维护 2. 适用于超高真空系统 3. 提供强烈的深紫外线光源 4. NIST可追溯的强度监测和校准

详述

High Power Krypton Vacuum Ultraviolet (VUV) Continuum Source 是一款由Resonance Ltd.生产的高性能光电产品。该产品利用氪气RF供电，能够在116.5到170 NM的范围内发射高强度的深VUV光。它设计可靠且免维护，适用于光电离、光刻和质谱等真空应用。安装简单，能够方便地连接到UHV系统，并且通过输出窗口提供大于100毫瓦的VUV通量。此外，该产品具有NIST可追溯的真空辐照度校准认证，确保了其性能和应用的可靠性。

规格书

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厂家介绍

Resonance有限公司提供全系列的极紫外（EUV）、真空紫外（VUV）、紫外（UV）、可见光（Vis）和红外（IR）组件和系统，专注于定制解决方案，并以现成产品的价格提供服务。凭借在光电技术领域超过35年的经验和高技能多样化的团队，我们能够为最苛刻的需求提供高水平和创新的解决方案。我们的产品广泛应用于全球各类项目，用于测试、测量和研究，深受学术界、航空航天、私人及企业机构的信赖。

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