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KrLM-LHP 高功率氪真空紫外线线光源 紫外线系统
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KrLM-LHP 高功率氪真空紫外线线光源

分类: 紫外线系统

厂家: Resonance

产地: 美国

型号: KrLM-LHP

更新时间: 2024-08-23 17:22:09

光刻 免维护 真空应用 光电离 质谱分析 高强度VUV

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概述

KrLM-LHP是一款RF功率驱动的氪灯系统,提供可靠且无需维护的深紫外线(VUV)高强度光源,主要发射波长为116.5和123.6纳米。KrLM-LHP是Resonance Ltd出品的高功率氪真空紫外线线光源,适用于光电离、光刻和质谱等真空应用。

参数

  • 气体填充 / Gas Fill : Krypton
  • 峰值波长 / Peak Wavelengths : 116.5,123.6NM
  • 全谱输出 / Full Spectral Output : 116.5-7000NM
  • VUV光强 / VUV Intensity : 3x1016-3x1017Photons/sec/sr
  • 输出角度范围 / Full Angle Output Cone : 30-65Degrees
  • 窗口材料 / Window Material : MgF2
  • 窗口清晰口径 / Clear Aperture Of Window : 0.4-1.8CM
  • 脉冲调制 / Pulse Modulation : to 1 kHz available as option
  • 认证 / Certification : NIST Traceable Calibration of Irradiance in Vacuum
  • 等离子体深度 / Plasma Depth Behind Face Of Front Flange : 2.0-4.0CM
  • 等离子体直径 / Plasma Diameter : 0.9-4CM
  • 等离子体长度 / Plasma Length : 3-10CM
  • 输入功率 / Input Power : 25-120Watts
  • 输入电压 / Input Voltage : 70-260VAC
  • 输入线频率 / Input Line Frequency : 50-65Hz
  • 安装法兰 / Mounting Flange : 6 inch Conflat is standard, lamp can be sealed to UHV system
  • 冷却 / Cooling : Forced air cooling with internal fan
  • 强度监控 / Intensity Monitor : Intensity monitor available as an option
  • 热控制 / Thermal Control : na
  • 系统组件 / System : Complete system includes power supply
  • 系统组件 / System : EMI shielded enclosure
  • 系统组件 / System : Vacuum flange and NIST Traceable calibration

应用

1.真空应用,如光电离、光刻和质谱分析

特征

1.高功率氪真空紫外线线光源 2.适用于6英寸CF法兰或Acton/Mcpherson法兰 3.通过输出窗口提供超过100毫瓦的VUV通量

详述

KrLM-LHP是一款由Resonance Ltd.开发的高强度氪气射频灯系统,主要用于深紫外线(VUV)发射。该产品具有可靠、免维护的特点,能够提供116.5和123.6 NM的高强度VUV发射,适用于光电离、光刻和质谱分析等多种真空应用。其设计便于连接到UHV系统,并且可选配脉冲调制和强度监控功能。KrLM-LHP的高性能和多功能性使其成为科学研究和工业应用中的理想选择。

规格书

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厂家介绍

Resonance有限公司提供全系列的极紫外(EUV)、真空紫外(VUV)、紫外(UV)、可见光(Vis)和红外(IR)组件和系统,专注于定制解决方案,并以现成产品的价格提供服务。凭借在光电技术领域超过35年的经验和高技能多样化的团队,我们能够为最苛刻的需求提供高水平和创新的解决方案。我们的产品广泛应用于全球各类项目,用于测试、测量和研究,深受学术界、航空航天、私人及企业机构的信赖。

相关产品

图片 名称 分类 制造商 参数 描述
  • RD-18-06 High Power Source 紫外线系统 RD-18-06 高强度深紫外线发光源 紫外线系统 Resonance

    可用灯泡: Krypton or Xenon 氪的峰值波长: 116.5, 123.6, 145 NM 氙的峰值波长: 147, 172 NM

    Resonance Ltd.的RD-18-06是射频驱动的灯系统,是一款可靠且无需维护的高强度深紫外线(VUV)发光源,发射波长在116至200纳米之间。该源头可安装到4.5英寸CF法兰上,便于与高真空系统连接。灯具可重新进入,以实现最佳定位。通过MgF2窗口为真空应用提供超过100毫瓦/球面度的VUV通量,如光电离飞行时间质谱分析。灯泡可互换,便于更换。温控高速风扇无需水冷即可散热。通常情况下,该源头会使用氪或氙灯泡,这些灯泡可互换,也可根据客户需求提供其他灯泡或填充压力。适用于高真空系统和光电离飞行时间质谱分析。

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