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概述
参数
- 气体填充 / Gas Fill : Argon
- 峰值波长 / Peak Wavelengths : 116-140NM
- 全光谱范围 / Full Spectral Range : 116.5-7000NM
- VUV光强 / VUV Intensity : 1x1016-1x1017Photons/sec/sr
- 输出角度范围 / Full Angle Output Cone : 30-65Degrees
- 窗口材料 / Window Material : MgF2
- 窗口清晰口径 / Clear Aperture Of Window : 0.4-1.8CM
- 脉冲调制 / Pulse Modulation : to 1 kHz available as option
- 认证 / Certification : NIST Traceable Calibration of Irradiance in Vacuum
- 等离子体深度 / Plasma Depth Behind Face Of Front Flange : 2.0-4.0CM
- 等离子体直径 / Plasma Diameter : 0.9-4CM
- 等离子体长度 / Plasma Length : 3-10CM
- 输入功率 / Input Power : 25-120Watts
- 输入电压 / Input Voltage : 70-260VAC
- 输入线频率 / Input Line Frequency : 50-65Hz
- 安装法兰 / Mounting Flange : 6 inch Conflat is standard
- 冷却 / Cooling : Forced air cooling with internal fan
- 强度监控 / Intensity Monitor : available as an option
- 热控制 / Thermal Control : na
- 系统组件 / System : Complete system includes power supply
- 系统组件 / System : EMI shielded enclosure
- 系统组件 / System : Vacuum flange and NIST Traceable calibration
应用
1. 光电离 2. 光刻 3. 质谱分析
特征
1. 适用于6英寸CF法兰或Acton/Mcpherson法兰，方便连接到UHV系统 2. VUV通量大于100毫瓦 3. 可选配1 kHz脉冲调制 4. 提供NIST可追溯的真空辐照度校准 5. 内置风扇强制空气冷却
详述
规格书
厂家介绍
Resonance有限公司提供全系列的极紫外（EUV）、真空紫外（VUV）、紫外（UV）、可见光（Vis）和红外（IR）组件和系统，专注于定制解决方案，并以现成产品的价格提供服务。凭借在光电技术领域超过35年的经验和高技能多样化的团队，我们能够为最苛刻的需求提供高水平和创新的解决方案。我们的产品广泛应用于全球各类项目，用于测试、测量和研究，深受学术界、航空航天、私人及企业机构的信赖。
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气体填充: Krypton 峰值波长: 116-170NM 全光谱范围: 116.5-7,000NM
Resonance Ltd的KrCM-LHP氪气射频激发灯系统是一种可靠且免维护的深紫外线强光源，发射波长范围从116.5到170纳米。该源可安装到6英寸CF法兰或Acton/Mcpherson法兰，方便连接到超高真空系统。通过输出窗口提供超过100毫瓦的VUV通量，用于真空应用，如光电离、光刻和质谱分析。
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