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  BlueBird3脉冲DPSS激光器

  立陶宛

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Geola Digital Ltd.

  波长: 440nm 平均值功率: 0.45W 重复频率: 0.03 - 0.03 kHz 脉宽: 50ns 脉冲间稳定性: 3%

  GeolasBluebird系列激光器发射440nm的激光，专门设计用于取代浮雕全息图母版制作过程中的CW激光器。相干长度大于3米的SLM，峰值功率可达300kW，持续功率可达450MW，维护成本低。蓝知更鸟是HECD连续激光器的可靠替代品。由于只有50ns的激光脉冲持续时间，没有振动会影响您的全息图记录。此外，我们的较新研究表明，光刻胶对脉冲辐射比对连续波辐射更敏感，因此曝光相同的感光材料面积所需的功率要小得多。

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  RGB DPSS激光器

  立陶宛

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Geola Digital Ltd.

  波长: 660, 532, 440nm 平均值功率: 0.3W 重复频率: 0.01 - 0.18 kHz 空间模式: 1.5 脉宽: 30-50ns

  RGB-Alpha-D系列是紧凑型主振荡器二极管泵浦Nd：YAG激光器系列，可在纳秒范围内产生发射。设计特征包括电光Q开关和通过使用较有效的NLO晶体将频率转换为二次和/或三次谐波。激光器在各种能量、波长和重复率下产生单纵模和TEM00近衍射极限辐射。如有要求，还可提供具有不同输出能量和重复率的定制激光型号。基本激光发射在1047、1053、1064或1079nm处以及在1313、1319、1338或1342nm处。RGB-Alpha激光系列可同时（或根据要求单独）发射深红外、红光和蓝光波长。RGB-Alpha激光系列在1.3um红外、红外、红光、绿光和蓝光中同时提供5种波长的脉冲（或根据要求单独提供）。标准RGB-Alfa系列的发射波长为440nm、532nm和660nm。

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  193纳米高输出-低重复型GIGANEX 600W型激光器

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 1000mJ 平均功率: 600W 最大重复率: 600Hz

  我们相信，通过整合Gigaphoton从制造准分子激光器作为半导体光刻光源中获得的技术和专有技术，并将该技术和专有技术与其客户的技术相结合，新创建的Giganex也可以在半导体光刻以外的领域产生新的创新，作为高性能DUV光源。由于Giganex系列是在Gigaphoton&Aposs GT平台上设计的，并且是为较大限度的通用性而设计的，因此可以预期它是高度可靠的。此外，它继承了GT系列的高输出和高振荡频率的特点，并有望实现更适合激光退火的设计。

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  193纳米高重复型GIGANEX 600W型激光器

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 100mJ 平均功率: 600W 最大重复率: 6000Hz

  我们相信，通过整合Gigaphoton从制造准分子激光器作为半导体光刻光源中获得的技术和专有技术，并将该技术和专有技术与其客户的技术相结合而新创建的Giganex，也可以在半导体光刻以外的领域产生新的创新，作为高性能DUV光源。由于Giganex系列是在Gigaphoton&Aposs GT平台上设计的，并且是为较大限度的通用性而设计的，因此可以预期它是高度可靠的。此外，它继承了GT系列的高输出和高振荡频率的特点，有望实现更适合激光退火的设计。

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  248纳米高输出-低重复型GIGANEX 600W型激光器

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 1000mJ 平均功率: 600W 最大重复率: 600Hz

  我们相信，通过整合Gigaphoton从制造准分子激光器作为半导体光刻光源中获得的技术和专有技术，并将该技术和专有技术与其客户的技术相结合，新创建的Giganex也可以在半导体光刻以外的领域产生新的创新，作为高性能DUV光源。由于Giganex系列是在Gigaphoton&Aposs GT平台上设计的，并且是为较大限度的通用性而设计的，因此可以预期它是高度可靠的。此外，它继承了GT系列的高输出和高振荡频率的特点，有望实现更适合激光退火的设计。

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  308纳米高输出-低重复型GIGANEX 600W型激光器

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: XeCl 波长: 308 nm 脉冲能源: 1000mJ 平均功率: 600W 最大重复率: 600Hz

  我们相信，通过整合Gigaphoton从制造准分子激光器作为半导体光刻光源中获得的技术和专有技术，并将该技术和专有技术与其客户的技术相结合而新创建的Giganex，也可以在半导体光刻以外的领域产生新的创新，作为高性能DUV光源。由于Giganex系列是在Gigaphoton&Aposs GT平台上设计的，并且是为较大限度的通用性而设计的，因此可以预期它是高度可靠的。此外，它继承了GT系列的高输出和高振荡频率的特点，有望实现更适合激光退火的设计。

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  351纳米高输出-低重复型GIGANEX 600W型激光器

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: XeF 波长: 351 nm 脉冲能源: 1000mJ 平均功率: 600W 最大重复率: 600Hz

  我们相信，通过整合Gigaphoton从制造准分子激光器作为半导体光刻光源中获得的技术和专有技术，并将该技术和专有技术与其客户的技术相结合，新创建的Giganex也可以在半导体光刻以外的领域产生新的创新，作为高性能DUV光源。由于Giganex系列是在Gigaphoton&Aposs GT平台上设计的，并且是为较大限度的通用性而设计的，因此可以预期它是高度可靠的。此外，它继承了GT系列的高输出和高振荡频率的特点，并有望实现更适合激光退火的设计。

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  G10K 1-kHz KrF准分子激光器

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 10W 最大重复率: 1000Hz

  稳定性和耐用性是准分子激光器较大的技术挑战，因为它使用氟、高压放电和深紫外线，所有这些都是高活性的。除了稳定性和耐用性外，用于光刻工具的准分子激光光源还需要激光束的高单色性和输出能量的高均匀性。作为世界上先进个满足所有这些要求的准分子激光光源，G10K自1997年上市以来，在光刻光源市场上赢得了极高的声誉。这一模式仍在世界各地的实地运作。

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  G20K 2 kHz KrF准分子激光器

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 20W 最大重复率: 2000Hz

  G20K具有高能量稳定性（±0.4%）和0.6 pm或更小的窄光谱带宽（FWHM），允许在高分辨率下曝光0.18µm几何结构。

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  G21K 2 kHz KrF准分子激光器

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 20W 最大重复率: 2000Hz

  用于0.13µm设计规则的2 kHz KrF准分子激光器

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  G41A 4-kHz ArF准分子激光器

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 5mJ 平均功率: 20W 最大重复率: 4000Hz

  4-kHz ARF准分子激光器，设计规则高达0.10µm

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  G41K-1H KrF 4 kHz准分子激光器

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 40W 最大重复率: 4000Hz

  作为第二代4-kHz准分子激光器G41K的升级版本，G41K-1H在G41K平台上安装了磁悬浮激光腔和高效缩线和监控模块作为标准功能，以实现40 W的高输出，比其他任何产品都高出一个等级。G41K-1H将每个光学模块的寿命延长到300亿个脉冲（比G41K长50%）。通过更换模块，G41K可在现场升级为G41K-1H。

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  G42A 4-kHz ArF准分子激光器

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 5mJ 平均功率: 20W 最大重复率: 4000Hz

  用于80-nm技术节点的4-kHz ARF准分子激光器

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  GT40A 4-kHz ArF准分子激光器

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 11.25mJ 平均功率: 45W 最大重复率: 4000Hz

  型号GT40A使用注入锁定谐振器（世界上先进个）作为光刻工具光源，以允许同时保持更窄的光谱带宽和更高的输出，这是传统技术难以实现的组合。此外，它提供了较低的峰值脉冲能量，减少了对光刻工具光学器件的损坏，从而实现了行业中较低的运行成本。型号GT40A还配备了新开发的高级自诊断功能，并大大提高了其可维护性，例如易于更换模块，以实现更高的可靠性和更长的正常运行时间。

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  GT60A 6 kHz准分子激光器

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

  Gigaphoton公司开始批量生产GT40A不到一年，现已成功开发出GT60A，其重复率是GT40A的1.5倍。GT60A是较新一代型号，采用与GT40A相同的注入锁定平台，已被全球半导体行业的主要用户所接受。GT40A的设计理念和可靠性在业界广受好评，由于GT60A基于同一平台，较大限度地实现标准化，并能够使用通用组件，从而确保用户从一开始就实现高可靠性。

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  GT61A 6 kHz准分子激光器

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

  在我们开始大规模生产和出货GT60A不到一年的时间里，Gigaphoton成功开发了GT61A。与GT60A相比，型号GT61A的光谱带宽提高了30%（E95%），激光室寿命更长，从而减少了停机时间和维护成本。GT61A是GT系列的第三代型号，采用了与GT40A和GT60A型号相同的注入锁定平台，这两个型号已经被全球半导体行业的主要用户所接受。GT系列的设计理念和可靠性在业界广受好评。由于基于相同的平台，GT61A较大限度地实现了标准化，并能够使用通用组件，从而确保用户从一开始就能实现高可靠性。

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  GT62A 6千赫兹准分子激光器60W版本

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

  GT系列的较新型号GT62A是第四代型号，采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率（90瓦），以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求，还提供60瓦版本的GT62A，以确保较大的投资回报。此外，GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术，从而较大限度地减少停机时间，以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受，其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台，因此较大限度地实现了标准化，并能够使用通用组件。因此，GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。

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  GT62A 6千赫兹准分子激光器90W版本

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz

  GT系列的较新型号GT62A是第四代型号，采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率（90瓦），以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求，还提供60瓦版本的GT62A，以确保较大的投资回报。此外，GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术，从而较大限度地减少停机时间，以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受，其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台，因此较大限度地实现了标准化，并能够使用通用组件。因此，GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。

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  GT63A ArF准分子激光器60W版本

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

  GT系列的较新车型GT63A是第五代车型，采用相同的注塑锁定平台。GT63A安装了四个“S”系列功能，旨在响应客户的需求，创造额外的价值：SMPL（光谱多定位LNM）*1，先进个客户认可的光谱控制（“聚焦钻孔”）技术，以实现更广泛的焦深；SGRYCOS（Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System），一种可降低运营成本的独特舱室技术；STGM（Supreme Total Gas Manager），一种气体管理系统，可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间；以及SMonitoring（智能监控），实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受；GT63A以其设计理念和高可靠性享誉全球，GT63A与之前的GT系列车型在同一平台上设计，以尽可能多地使用通用部件，从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。

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  GT63A ArF准分子激光器90W版本

  日本

  分类：激光器模块和系统

  厂商：Gigaphoton Inc.

  混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz

  GT系列的较新型号GT63A是第五代型号，采用相同的注锁平台。GT63A安装了四个“S”系列功能，旨在满足客户创造额外价值的需求：SMPL（光谱多定位LNM）*1，先进客户认可的光谱控制（“聚焦钻孔”）技术，以实现更广泛的焦深；SGRYCOS（Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System），一种可降低运营成本的独特舱室技术；STGM（Supreme Total Gas Manager），一种气体管理系统，可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间；以及SMonitoring（智能监控），实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受；以其设计理念和高可靠性享誉全球。GT63A的设计平台与以前的GT系列型号相同，以便使用尽可能多的通用组件，从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。