4-kHz ARF准分子激光器，设计规则高达0.10µm

作为第二代4-kHz准分子激光器G41K的升级版本，G41K-1H在G41K平台上安装了磁悬浮激光腔和高效缩线和监控模块作为标准功能，以实现40 W的高输出，比其他任何产品都高出一个等级。G41K-1H将每个光学模块的寿命延长到300亿个脉冲（比G41K长50%）。通过更换模块，G41K可在现场升级为G41K-1H。

用于80-nm技术节点的4-kHz ARF准分子激光器

型号GT40A使用注入锁定谐振器（世界上先进个）作为光刻工具光源，以允许同时保持更窄的光谱带宽和更高的输出，这是传统技术难以实现的组合。此外，它提供了较低的峰值脉冲能量，减少了对光刻工具光学器件的损坏，从而实现了行业中较低的运行成本。型号GT40A还配备了新开发的高级自诊断功能，并大大提高了其可维护性，例如易于更换模块，以实现更高的可靠性和更长的正常运行时间。

Gigaphoton公司开始批量生产GT40A不到一年，现已成功开发出GT60A，其重复率是GT40A的1.5倍。GT60A是较新一代型号，采用与GT40A相同的注入锁定平台，已被全球半导体行业的主要用户所接受。GT40A的设计理念和可靠性在业界广受好评，由于GT60A基于同一平台，较大限度地实现标准化，并能够使用通用组件，从而确保用户从一开始就实现高可靠性。

在我们开始大规模生产和出货GT60A不到一年的时间里，Gigaphoton成功开发了GT61A。与GT60A相比，型号GT61A的光谱带宽提高了30%（E95%），激光室寿命更长，从而减少了停机时间和维护成本。GT61A是GT系列的第三代型号，采用了与GT40A和GT60A型号相同的注入锁定平台，这两个型号已经被全球半导体行业的主要用户所接受。GT系列的设计理念和可靠性在业界广受好评。由于基于相同的平台，GT61A较大限度地实现了标准化，并能够使用通用组件，从而确保用户从一开始就能实现高可靠性。

GT系列的较新型号GT62A是第四代型号，采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率（90瓦），以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求，还提供60瓦版本的GT62A，以确保较大的投资回报。此外，GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术，从而较大限度地减少停机时间，以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受，其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台，因此较大限度地实现了标准化，并能够使用通用组件。因此，GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。

GT系列的较新型号GT62A是第四代型号，采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率（90瓦），以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求，还提供60瓦版本的GT62A，以确保较大的投资回报。此外，GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术，从而较大限度地减少停机时间，以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受，其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台，因此较大限度地实现了标准化，并能够使用通用组件。因此，GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。

GT系列的较新车型GT63A是第五代车型，采用相同的注塑锁定平台。GT63A安装了四个“S”系列功能，旨在响应客户的需求，创造额外的价值：SMPL（光谱多定位LNM）*1，先进个客户认可的光谱控制（“聚焦钻孔”）技术，以实现更广泛的焦深；SGRYCOS（Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System），一种可降低运营成本的独特舱室技术；STGM（Supreme Total Gas Manager），一种气体管理系统，可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间；以及SMonitoring（智能监控），实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受；GT63A以其设计理念和高可靠性享誉全球，GT63A与之前的GT系列车型在同一平台上设计，以尽可能多地使用通用部件，从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。

GT系列的较新型号GT63A是第五代型号，采用相同的注锁平台。GT63A安装了四个“S”系列功能，旨在满足客户创造额外价值的需求：SMPL（光谱多定位LNM）*1，先进客户认可的光谱控制（“聚焦钻孔”）技术，以实现更广泛的焦深；SGRYCOS（Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System），一种可降低运营成本的独特舱室技术；STGM（Supreme Total Gas Manager），一种气体管理系统，可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间；以及SMonitoring（智能监控），实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受；以其设计理念和高可靠性享誉全球。GT63A的设计平台与以前的GT系列型号相同，以便使用尽可能多的通用组件，从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。

GT64A提供业界较高的120W输出功率，具有高光束性能和稳定性。该产品的设计重点是性能、效率和减少环境影响，挑战总运营成本效率的极限。这是继承Gigaphoton的Timeless Injection Lock（TM）技术的第六代产品。基于GT平台著名的双腔架构、输出控制算法、光束对准技术，GT64A可提供120W的功率输出、卓越的光束性能和稳定性，以及业界一流的可靠性、恢复时间和模块寿命。

GT65A是使用注入锁定方法的第七代平台，安装了领先的技术，并通过可变光谱宽度（E95）带来的“曝光性能改进”和改进的稳定性、延长的模块寿命带来的“高可用性”以及无氦气带来的“降低的环境负荷”，为客户进一步提高了生产率（晶圆产量）。

ILT2400-UVC光测量系统拥有您开始验证UV光源的光输出所需的一切。仅仅相信制造商的规格是不够的。你必须验证你委托给病人的健康和幸福的系统正在做它所说的事情——灭活细菌和杀死病原体。ILT2400-UVCIS专门配置并在265nm下校准，以测量UVC水平，其中大多数病原体，包括新冠肺炎病毒，被停用（见上图）。轻触按钮，ILT2400-UVC将执行以下操作：验证所发射的光的注量和注量率验证所发射的光量确认到达表面的光量ILT2400-UVC是一款功能丰富的手持式UVC仪/辐射计，可在屏幕上验证以及记录用于任何消毒应用（包括表面）的多种类型UV源的光强度数据。空气和水，无论灯的类型。该装置带有一个集成的支架，允许在使用时固定仪表的位置。探测器采用7英尺电缆连接，有助于降低探测器暴露的风险。ILT2400的多功能性非常适合在实验室或现场环境中测量各种系统。

操作准分子激光器的较大单项成本是激光气体消耗（也称为动态气体寿命*）。凭借我们的专利技术，LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学端口上的EasyClean自动阀允许密封激光室，并在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-700激光器易于使用，维修简单，操作经济，将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。IPEX-700是脉冲激光沉积、PLD等应用的理想选择。IPEX-700可在任何使用Windows 7、8或10的计算机上操作。为了您的方便，还包括Microsoft Surface Pro 4平板电脑。*动态气体寿命是指运行激光器时的气体使用量。静态气体寿命是指不运行激光器时的气体使用量。

操作准分子激光器的较大单项成本是激光气体消耗（也称为动态气体寿命*）。凭借我们的专利技术，LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室，并在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-700激光器易于使用，维修简单，操作经济，将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。IPEX-700是脉冲激光沉积、PLD等应用的理想选择。使用Windows 7、8或10.为了您的方便，包括Microsoft Surface Pro 4平板电脑。*动态气体寿命是指运行激光器时的气体使用量。静态气体寿命是指不运行激光器时的气体使用量。

操作准分子激光器的较大单项成本是激光气体消耗（也称为动态气体寿命*）。凭借我们的专利技术，LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室，并在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-700激光器易于使用，维修简单，操作经济，将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。IPEX-700是脉冲激光沉积、PLD等应用的理想选择。使用Windows 7、8或10.为了您的方便，包括Microsoft Surface Pro 4平板电脑。*动态气体寿命是指运行激光器时的气体使用量。静态气体寿命是指不运行激光器时的气体使用量。

操作准分子激光器的较大单项成本是激光气体消耗（也称为动态气体寿命*）。凭借我们的专利技术，LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室，并在拆除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-700激光器易于使用，维修简单，操作经济，将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。IPEX-700是脉冲激光沉积、PLD等应用的理想选择。使用Windows 7、8或10.为了您的方便，包括Microsoft Surface Pro 4平板电脑。*动态气体寿命是指运行激光器时的气体使用量。静态气体寿命是指不运行激光器时的气体使用量。

操作准分子激光器的较大单项成本是激光气体消耗（也称为动态气体寿命*）。凭借我们的专利技术，LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室，并在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-700激光器易于使用，维修简单，操作经济，将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。IPEX-700是脉冲激光沉积、PLD等应用的理想选择。使用Windows 7、8或10.为了您的方便，包括Microsoft Surface Pro 4平板电脑。*动态气体寿命是指运行激光器时的气体使用量。静态气体寿命是指不运行激光器时的气体使用量。

IPEX系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计，可提供高功率紫外激光加工以及较先进的性能。IPEX激光器采用LightMachinery的专利Excipure™技术，可提供巨大的气体寿命、卓越的光学稳定性和激光操作参数的精确控制。操作准分子激光器的较大单一成本是激光气体消耗（也称为动态气体寿命*）。凭借正在申请专利的Excipure™技术，LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室，并在拆除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-800激光器易于使用，维修简单，操作经济，将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。上面所示的陶瓷标记是这些多功能工业工具的众多应用之一。

IPEX系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计，可提供高功率紫外激光加工以及较先进的性能。IPEX激光器采用LightMachinery的专利Excipure™技术，可提供巨大的气体寿命、卓越的光学稳定性和激光操作参数的精确控制。操作准分子激光器的较大单一成本是激光气体消耗（也称为动态气体寿命*）。凭借正在申请专利的Excipure™技术，LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室，并在拆除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-800激光器易于使用，维修简单，操作经济，将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。上面所示的陶瓷标记是这些多功能工业工具的众多应用之一。