用于镜片的非接触式测量系统，由于采用非接触式测量技术，不会对镜片表面造成损坏。 非接触式测量技术不会损坏镜片表面 - 坚固的减震设计 - 比测试板更安全、更精确 设计紧凑，可方便地直接安装在抛光机旁 可直接安装在抛光机旁 - 带千分尺螺钉的三轴微调平台 包括我们的高级干涉仪模块OptoTech 微型EL-F数字干涉仪

非接触式镜片测量系统，不损伤镜片表面 镜片表面 - - 坚固的减震设计 设计紧凑，可方便地直接安装在抛光机旁 可直接安装在抛光机旁 - 比测试板更安全、更精确 - 带千分尺螺钉的三轴微调平台 包括我们的高级干涉仪模块OptoTech 微型EL-F数字式检测仪 使用高质量的OptoTech 60mm基准球面仪 测量范围从微型光学元件到4英寸光学元件

标准设置，干涉仪模块位于花岗岩工作台底部，与Z轴对齐 - 测量球形部件的理想工具。 多种选件使这些测量设备能够适应不同的测量任务。 - 微型光学元件的测量范围可达直径60mm。 - 设计紧凑，可用于生产 安装在减震花岗岩台面上。带4个减震元件的被动减震系统。 全面的模块化系统允许所有轴的配置，在轴承（摩擦或交叉滚柱轴承）和通过滚珠丝杠主轴的工作台驱动（手动或电动）方面，可根据具体应用进行理想的定制。 OptoTech干涉仪模块 检查微型EL-F数字式，带60毫米扩束器 使用高质量的OptoTech 60mm基准球测量微光学元件，测量精度为 λ/20 - 集成数字位置传感器（海德汉线性光栅尺），分辨率为 1µm，用于测量测试半径。

刚性花岗岩塔架，通过四个减震器被动隔振 - 用于无级调节测量工作台的操纵杆，线性滑轨采用无游隙轴承 - 工作台由伺服电机和滚珠丝杠主轴驱动 工作台由伺服电机和滚珠丝杠主轴驱动，速度可通过操纵杆调节（无级调节） - 手动微调，使用细牙螺杆，带 高精度滚柱导轨 - 3轴工作台（基本型机床只有Z轴；可选配不同的X-Y轴型号 不同的X-Y轴选项） - 各种干涉仪模块： MarOpto 4", Zygo VeriFire - 用于参考球的4 "卡口接口，与Zygo、Zeiss F-Aplanar等兼容。Zygo、Zeiss F-Aplanar等。

- 优化用于生产 测量支架由花岗岩制成，具有高的精度和刚度 - 不锈钢机器底座。被动式空气减震元件安装在稳定的钢制底座上。 - 3个带花岗岩塔架的被动空气减震元件，具有最高的精度和刚度。 - 弧度滑块，带无间隙预应力摩擦轴承，由伺服电机驱动。带无间隙预应力摩擦轴承的半径滑块，由伺服电机驱动。操纵杆用于变 操纵杆用于变速行走，最大行程1500mm。 - 三轴精密可调工作台（多种X/Y测量选项 三轴精密可调工作台） - 海德汉玻璃光栅尺，测量精度为5微米。海德汉玻璃光栅尺，总行程测量精度为5 µm，用于半径的绝对测量精度、 光栅尺靠近光轴安装（阿贝原理） - 通过激光对中测量半径轴（包括 测量协议） - 创新性地安装当前类型的干涉仪（MAHR MarOpto FI 1100 Z, Zygo 4 通过激光对中测量半径轴，包括测量协议。 英寸和6英寸，Äpre S100/150 HR），包括分析软件。 软件 - 通过镜子系统重新定向半径轴，节省空间 安装方便 - 包括带集成电气柜和存储系统的移动式 包括带集成电气柜和存储系统的移动式 PC 工作站

优化用于生产 测量装置由天然硬石制成，门式结构，被动气浮，水平调节 干涉仪模块反向安装在X轴上 X/Y/Z/B轴可通过电机调节。可通过操纵杆移动。测量位置可保存 适用于CX和CV圆柱和平面光学元件 通过使用计算机生成的全息图（CGH）将准直波面分割为一维，以创建圆柱波面。 包括集成 PC 工作站 OptoTech软件与Zygo MX相结合 全自动测量单个圆柱段

刚性花岗岩底座和被动式空气阻尼器 Z轴配置的高精度半径滑轨 安装在B轴上的反向设计的干涉仪模块 高分辨率旋转轴（B 轴），用于将干涉仪单元垂直于基片表面定位 直接驱动旋转轴（C轴），用于旋转光路中的高孔径球面和平面 OptoTech Inspect Mini EL-F 数字式 2" 菲佐干涉仪模块 设计紧凑，集成 PC 工作站 操作： 传统（手动）或使用μStitch MSI软件进行自动轴控制 OptoTech干涉仪软件 μShape OWI用于自动透镜评估

用于球面和非球面检测的高精度Fizeau车间干涉仪。 高精度运动学和高达150毫米的工作范围使该测量机成为高端光学产品生产不可或缺的工具。 测量支架由减震花岗岩制成，具有高的精度和刚度 被动空气减震元件安装在稳定的钢制底座上 半径滑块，带预载无间隙抗摩擦轴承，由伺服电机驱动，通过操纵杆变速，行程1050毫米 三轴工作台（可选配五轴工作台） 海德汉玻璃光栅尺，总行程测量精度为5 μm，实现半径的绝对测量精度，光栅尺安装在光轴附近（阿贝原理） 创新的、便于维护的现有类型干涉仪安装，包括分析软件（MAHR MarOpto FI 1100 Z、Zygo GPI/Verifire 4英寸和6英寸干涉仪）

新型多功能缝合干涉仪MSI 300专为测试直径达300毫米的高孔径球体而设计。可选配最大300毫米的平面光学测量仪 刚性花岗岩底座和无源空气轴承 Z轴调整中的高精度半径滑块 MAHR MarOpto FI 1100 Z干涉仪模块 带X/Y轴十字滑台的反向设计干涉仪模块 高分辨率旋转轴（B轴），用于在光路中定位高孔径球体 直接驱动旋转轴（C轴），用于旋转光路中的高孔径球和可选平面 标准工件夹头HD-40（可选配其他夹头） OptoTech Inspect Mini EL-F数字式4 "菲佐干涉仪模块（其它模块可根据要求提供） 设计紧凑，集成PC工作区 操作 传统（手动）或使用μStitch MSI软件进行自动轴控制

高精度减震花岗岩底座，安装在被动式4点减震系统上 通过对称门户结构避免静态相关的干扰因素 节省空间的显示器集成。监测台不直接安装在测量结构上，以获得更好的测量结果。 通过带集成三轴微调的空气轴承滑台平稳、精确地定位测试对象 可调节的监测器支架 提供不同的功能强大的干涉仪模块（MAHR MarOpto FI 1100 Z 或 Zygo Verifire）和舒适的软件解决方案，用于评估测量结果。

刚性门式结构上的垂直梁导向 安装在减震花岗岩底座上 被动式空气减震器 用于放大干涉图像的电动变焦装置 用于横向定位的空气轴承台 尖端和倾斜装置 安全气壳

冷阴极X射线管（PRT）使用内置光电倍增管（PMT）作为电子源，而不是传统的阴极。X射线由照射在PMT光电阴极上的光进行调节。发光二极管、灯或任何其他光源均可用作光源。PRT可应用于医学（X射线断层扫描）、生物学、X射线空间通信、X射线结构和X射线光谱分析设备。

PMT-175具有SbKCs光电阴极和线性14个阳极倍增系统。该装置用于多光谱研究，也可用于专用设备和气体传感器。

材料CaF2 (E157)random 形状 圆形 直径 (Ø) 38.1 mm (-0.1 mm) 厚度 (t) 5 mm (±0.1 mm) 平行度 5ʹ

材料 Corning 7980 2F orequal 形状 圆形 直径 (Ø) 12.7 mm (-0.1 mm) 厚度 (t) 6.35 mm (±0.1 mm) 平行度 5ʹ

材料CaF2 (E193) random 形状 圆形 直径 (Ø) 20 mm (-0.1 mm) 厚度 (t) 4 mm (-0.2 mm) 平行度 5ʹ

材料CaF2 (E248) random 形状 圆形 直径 (Ø) 50.8 mm (-0.1 mm) 厚度 (t) 9.5 mm (-0.2 mm) 平行度 5ʹ

材料 Corning 7980 2F or equal 形状 圆形 直径 (Ø) 25 mm (-0.1 mm) 厚度 (t) 6.35 mm (±0.1 mm) 平行度 5ʹ

输出波长为193nm、248nm和308nm的激光器为准分子激光器。这些波长可用于微光刻、微制造和医疗设备等应用。在这些波长下，建议使用氟化钙或氟化镁基板作为腔内透射光学元件。用户可指定输出耦合器的反射率。请注意，Lambda 的高质量准分子激光器腔体涂层专为耐酸/氟而设计。

有193纳米、248纳米和308纳米准分子激光器。这些波长可用于微光刻、微制造和医疗设备等应用。在这些波长下，建议使用氟化钙或氟化镁基板作为腔内透射光学元件。后腔反射镜在激光波长下的反射率至少为99.5%。请注意，Lambda 的高质量准分子激光器腔体涂层是专为耐酸/氟而设计的。