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ArF准分子激光反射镜 131308 光学反射镜

ArF准分子激光反射镜 131308

分类： 光学反射镜

厂家： LAYERTEC

产地： 德国

型号： ArF准分子激光反射镜 131308

更新时间： 2024-08-29 21:05:17

简介：

LAYERTEC生产的准分子激光反射镜 131308

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概述

材料CaF2 (E193) random 形状 圆形 直径 (Ø) 20 mm (-0.1 mm) 厚度 (t) 4 mm (-0.2 mm) 平行度 5ʹ

参数

  • 波长范围 / Wavelength Range : 193 nm
  • 平行度 / Parallelism : 5 ’
  • 基底/材料 / Substrate/Material : CaF2 (E193) random
  • 反射率 / Reflectance : >96%
  • 反射镜类型 / Mirror Type : ArF- Laser mirror
  • 反射镜形状 / Mirror Shape : Round
  • 反射镜厚度 / Mirror Thickness : 3.8-4 mm
  • 反射镜直径 / Mirror Diameter : 19.9-20 mm

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厂家介绍

LayerTec生产用于激光应用的高质量光学元件，波长范围从真空紫外（157nm）到近红外（≈4µm）。我们公司结合了精密光学设备和各种镀膜技术（磁控管和离子束溅射、热蒸发、离子辅助电子束蒸发），使LayerTec能够在整个生产过程中控制光学元件的质量，从基板的研磨、抛光和清洁到较终镀膜过程。

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