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KrF准分子激光反射镜 104235 光学反射镜

KrF准分子激光反射镜 104235

分类: 光学反射镜

厂家: LAYERTEC

产地: 德国

型号: KrF准分子激光反射镜 104235

更新时间: 2024-08-29 18:55:43

LAYERTEC生产的准分子激光反射镜 104235

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概述

材料CaF2 (E248) random 形状 圆形 直径 (Ø) 50.8 mm (-0.1 mm) 厚度 (t) 9.5 mm (-0.2 mm) 平行度 5ʹ

参数

  • 波长范围 / Wavelength Range : 248 nm
  • 平行度 / Parallelism : 5 ’
  • 基底/材料 / Substrate/Material : CaF2 (E248) random
  • 反射率 / Reflectance : >98%
  • 反射镜类型 / Mirror Type : KrF-Laser mirror
  • 反射镜形状 / Mirror Shape : Round
  • 反射镜厚度 / Mirror Thickness : 9.4-9.6 mm
  • 反射镜直径 / Mirror Diameter : 50.7-50.8 mm

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厂家介绍

LayerTec生产用于激光应用的高质量光学元件,波长范围从真空紫外(157nm)到近红外(≈4µm)。我们公司结合了精密光学设备和各种镀膜技术(磁控管和离子束溅射、热蒸发、离子辅助电子束蒸发),使LayerTec能够在整个生产过程中控制光学元件的质量,从基板的研磨、抛光和清洁到较终镀膜过程。

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