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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz
在我们开始大规模生产和出货GT60A不到一年的时间里,Gigaphoton成功开发了GT61A。与GT60A相比,型号GT61A的光谱带宽提高了30%(E95%),激光室寿命更长,从而减少了停机时间和维护成本。GT61A是GT系列的第三代型号,采用了与GT40A和GT60A型号相同的注入锁定平台,这两个型号已经被全球半导体行业的主要用户所接受。GT系列的设计理念和可靠性在业界广受好评。由于基于相同的平台,GT61A较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件,从而确保用户从一开始就能实现高可靠性。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新车型GT63A是第五代车型,采用相同的注塑锁定平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在响应客户的需求,创造额外的价值:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进个客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;GT63A以其设计理念和高可靠性享誉全球,GT63A与之前的GT系列车型在同一平台上设计,以尽可能多地使用通用部件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新型号GT63A是第五代型号,采用相同的注锁平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在满足客户创造额外价值的需求:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;以其设计理念和高可靠性享誉全球。GT63A的设计平台与以前的GT系列型号相同,以便使用尽可能多的通用组件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。
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镜头类型: Positive 材料: H-K9L 尺寸: 20mm 焦距: 50mm
平凸柱面透镜非常适合需要一维放大的应用。当球面透镜在两个维度上对称地作用于入射光线时,柱面透镜以相同的方式作用,但仅在一个维度上作用。典型的应用是使用一对柱面透镜来提供光束的变形整形。一对正柱面透镜可用于准直和圆化激光二极管的输出。另一种可能的应用是使用单个透镜将发散光束聚焦到检测器阵列上。为了较大限度地减少球面像差的引入,当将准直光聚焦成线时,准直光应入射在曲面上,而当准直时,来自线光源的光应入射在普莱诺表面上。F=R/(n-1),其中n是折射率,R1,R2是透镜每个表面的曲率半径。它们也可以涂有MgF2以保护表面,或者涂有AR涂层以增加透射率。
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模式锁定电源: 1400mW 脉冲持续时间: 25fs 重复频率: 75 - 102 MHz 脉冲能量: 15nJ 中心波长: 750 - 850 nm
KMLabs Halcyon™重复率稳定振荡器在需要将振荡器激光脉冲与另一激光器或同步加速器的脉冲同步的客户中很受欢迎。Halcyon附带的电子设备将其输出锁定到客户的参考信号,并可提供小于150 FS的定时抖动。重复率的稳定是通过多个功能实现的,包括温度稳定试验板、用于粗反馈的电动平台、以及用于快速反馈的小型压电反射镜。KMLabs团队与每个Halcyon客户密切合作,以确保系统满足他们的特定需求。由于Halcyon™的灵活设计,它可以在非常宽的范围内锁定参考信号:75 MHz至4 GHz。
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模式锁定电源: 550mW 脉冲持续时间: 12fs 重复频率: 75 - 102 MHz 脉冲能量: 15nJ 中心波长: 750 - 840 nm
KMLabs Halcyon™重复率稳定振荡器在需要将振荡器激光脉冲与另一激光器或同步加速器的脉冲同步的客户中很受欢迎。Halcyon附带的电子设备将其输出锁定到客户的参考信号,并可提供小于150 FS的定时抖动。重复率的稳定是通过多个功能实现的,包括温度稳定试验板、用于粗反馈的电动平台、以及用于快速反馈的小型压电安装反射镜。KMLabs团队与每个Halcyon客户密切合作,以确保系统满足他们的特定需求。由于Halcyon™的灵活设计,它可以在非常宽的范围内锁定参考信号:75 MHz至4 GHz。
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化合物类型: Hydrogen, Nitrogen, Helium, Argon 检测技术: Not Specified 最低检测率: 17ppt (parts per trillion)
在气体质量异常破坏您的流程之前检测它们。使用Tiger Optics的Halo OK氧分析仪,您可以以万亿分之一的精度、无漂移稳定性和瞬时响应来验证氧杂质水平。您会发现我们的系统安装起来非常简单快捷,维护起来毫不费力,并且内置零验证功能。其稳健的设计(无移动部件)使分析仪具有较高的平均故障间隔时间(MTBF)率和极低的拥有成本(COO)。凭借其专利的催化转化技术,利用微量的氢气将氧气清洁、安全地转化为水分,OK提供了一种完全基于激光的解决方案,用于对您的工艺进行持续的质量控制。基于强大的光腔衰荡光谱,HALO OK符合SEMI F-112标准,用于气体系统的水分干燥表征。将新的HALO OK与我们的HALO KA搭配使用,用于PPT级别的湿度测量,以享受提高利润的CRDS技术对这两种关键污染物的诸多优势。
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哈罗德是一种先进的异质结构模拟器,用于模拟具有近乎任意垂直结构和层成分的法布里-珀罗量子阱激光器。它基于完善的物理模型,这些模型解释了大量的物理过程,从而使人们能够获得一组非常全面的模拟结果,通过这些结果,人们可以测试和改进自己的激光器设计。设备可以在1D(垂直)和2D(垂直-纵向)中进行模拟,在脉冲(等温)或CW(自加热)条件下运行。附加的XY激光器模块允许从激光器横截面的完整物理描述开始执行2D横向-垂直(XY)模拟。横截面可以包括分级的蚀刻层和绝缘层,并且在同一侧具有n和p接触。这非常适合研究脊波导激光器和SOI混合激光器中的横向结构效应。Harold EAM模块包括一个量子限制斯塔克效应(QCSE)模型,允许您对电吸收调制器和电折射调制器进行建模。Harold本身就是一个激光模拟器,它可以将材料模型导出到Photon Design的电路模拟器PicWave,从而允许将其详细物理模型的结果合并到更大、更复杂的设备中,以便在时域中进行快速模拟。