Surtronic-R精密高速圆度测量
概述
参数
- 光源类型 / Light Source Type : CW LED
- 光源波长 / Light Source Wavelength : 30nm
- 样品反射率 / Sample Reflectivity : 1 - 1 %
- 垂直范围 / Vertical Range : 6nm
- 有效值重复性 / RMS Repeatability : <0.01 nm
- 有效值精度 / RMS Precision : <0.1nm
规格书
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