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波长: 760 nm 类型: 自由空间VCSEL 正向电压: 2 V 芯片技术: VCSEL 技术: 单模锁偏窄线宽VCSEL
来自TRUMPF的TTO-007-760-A,是波长为760nm具有TO5封装的单模锁偏窄线宽VCSEL激光器。输出功率为0.3mW,阈值电流为0.5-1mA,工作电流为1-2mA,线宽为100MHz。该产品集成的稳压二极管可减少激光组件的静电放电(ESD),锁偏功能在不牺牲功率效率的情况下实现偏振控制。TO封装将电子器件密封在外壳内部,即使是在严苛的环境条件下也不会损坏。该产品集成有TEC的TO外壳适合需要大温度窗口或者要求激光二极管具备光谱稳定性的应用。该产品非常适用于氧气传感技术。
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波长范围: 633 nm 直径公差: 600 mm 离轴角: 45 Degree
这些反射镜能够在不引入球面像差的情况下聚焦准直光。此外,与居中抛物面反射镜不同,OAP 反射镜的优势在于可在焦点周围留出更多的交互空间,而不会干扰光束。由于其完全消色差的性能,它们是多波长或宽带应用的理想选择。 离轴抛物面反射镜通常能在不影响性能的前提下提供经济高效的解决方案。对于光学和系统设计人员来说,它们是多个问题的解决方案。 Optical Surfaces 经验丰富、技术娴熟的工程团队采用专有生产技术,得益于独特稳定的生产环境,在生产快速聚焦 OAP 反射镜方面享誉全球,其表面精度、表面质量和表面斜率误差很优秀
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波长: 193 nm 功率: 60-90 W
先进产品制造目前仍继续应用摩尔定律,技术节点日益微细化。这些尖端产品对转印到晶圆上的曝光图案、特别是EPE(Edge Placement Error)具有很高的要求。作为光源通过降低直接影响EPE的CD LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness),为提高批量生产现场的成品率提供帮助。 新型浸没式曝光光源“GT66A”通过新开发的光学模块成功地将散斑对比度降低30%,减少了LER/LWR。还通过引入新的高度耐用零件,将模块的维护周期延长30%。由此实现进一步改善工序成品率、提高光源的可用性,为尖端节点批量生产的高生产性提供帮助。
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重量: 295 kg 冷却方式: Optional air cooling up to 25 Hz repetition rates Water cooling at higher repetition rates
世界各地的顶尖研发科学家都在使用 LightMachinery 准分子激光器。 IPEX-700 系列激光器专为工业和研发环境中的中等工作周期操作而设计,具有高功率紫外激光加工和最先进的性能。IPEX 激光器采用 LightMachinery 的 exciPure™ 专利技术,具有超长的气体寿命、卓越的光学稳定性和精确的激光操作参数控制。 性能提高 10 倍、功能强大、可靠、结构紧凑、操作简单 操作准分子激光器的最大成本是激光气体消耗量(也称为动态气体寿命*)。 凭借我们的 exciPure™ 专利技术,LightMachinery 的气体使用量比同类激光器提高了 10 倍。 这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。