• 绿色激光模块GLM-532-700-2656-15-(15-30)-01 激光器模块和系统
    波长: 532nm 最大输出功率: 700mW 运行模式: CW

    FLC提供各种二极管泵浦固体激光器产品、较小的DPSS激光头、低成本模块、低功率和高功率激光系统以及具有不同功率输出和波长的高质量单纵模激光系统。

  • 绿色激光,类型GL-200mW 激光器模块和系统
    波长: 532nm 平均输出功率: 0.2W 脉宽: 0.1 - 2 ns 光束质量: 1.2 最大脉冲重复率: 100kHz

    绿色激光器,型号GL-200mW

  • 绿色单频超窄线宽光纤激光器Celius-SF-515 激光器模块和系统
    美国
    厂商:OPTROMIX
    波长: 515nm 输出功率: 2W 光束质量: 1.05 运行模式: Continuous Wave (CW)

    单频超窄线宽(<200 kHz)TEM00模式卓越的光束质量(M2<1.05)

  • Greenphoton CWA 515nm CW半导体激光器 半导体激光器
    中心波长: 0.515um 输出功率: 80mW

    CWA系列激光器是高度稳定、温度稳定的二极管激光器,功率高达500 MW,并可根据要求进行无模式跳变的CW操作。高精度温度稳定至<0.02°K的较大二极管温度变化,以及激光二极管的稳定电源,可实现极高的功率稳定性和极低的噪声水平。该系统由一个激光头和一个激光控制器组成,安装在19英寸的盒式磁带外壳中,集成了90-240 V AC 50/60 Hz电源装置,可在全球范围内使用。集成的调制输入用于高达1kHz的模拟功率调制和高达10K Hz的TTL调制,可集成到控制和测量过程中。与BluePhoton®和RedPhoton®系列的所有激光器一样,通过使用模块化原理,激光头可以非常简单地适应客户的规格。

  • Greenphoton CWA.L 515nm CW半导体激光器 半导体激光器
    中心波长: 0.515um 输出功率: 50mW

    CWA.L系列激光器是高度稳定、温度稳定的二极管激光器,适用于机器、设备和仪器的OEM应用。由于其智能激光控制器具有RS-232接口,这些激光器可以无缝集成到应用程序和控制器中。通过标准化命令行界面(CLI),您可以随时完全控制激光器的所有参数,例如激光二极管温度、激光功率和电流、操作模式等。高精度温度稳定至<0.02°K的较大二极管温度变化,以及激光二极管的稳定电源,可实现极高的功率稳定性和极低的噪声水平。根据工业标准,该系统由一个激光头和一个激光控制器组成,安装在EMC屏蔽的模块化外壳中,电源电压输入为24 V DC。集成的调制输入支持高达1 kHz的模拟功率调制和高达10 kHz的TTL调制,可集成到控制和测量过程中。与BluePhoton®和RedPhoton®系列的所有激光器一样,通过使用模块化原理,激光头可以非常简单地适应客户的规格。

  • Griffin-10 Ti:Sapphire振荡器 激光器模块和系统
    美国
    厂商:KM Labs, Inc.
    模式锁定电源: 1400mW 脉冲持续时间: 15fs 重复频率: 80 - 95 MHz 脉冲能量: 15nJ 中心波长: 750 - 840 nm

    KMLabs Griffin™系列钛:蓝宝石振荡器为客户提供对其系统的较终控制,易于维护,并提供广泛的性能规格,支持许多不同的应用。这些基于棱镜的振荡器使用克尔透镜锁模来产生超短<12 FS脉冲。所有Griffin激光器都包括光谱带宽和中心波长的计算机控制以及水冷试验板,以实现较大的长期稳定性。Griffin系列中有包括集成泵浦激光器和诊断的选项。Griffin激光器维护非常简单,因为组件易于接近。

  • Griffin-10-WT Ti:Sapphire振荡器 激光器模块和系统
    美国
    厂商:KM Labs, Inc.
    模式锁定电源: 800mW 脉冲持续时间: 25fs 重复频率: 80 - 95 MHz 脉冲能量: 15nJ 中心波长: 700 - 920 nm

    KMLabs Griffin™系列钛:蓝宝石振荡器为客户提供对其系统的较终控制,易于维护,并提供广泛的性能规格,支持许多不同的应用。这些基于棱镜的振荡器使用克尔透镜锁模来产生超短<12 FS脉冲。所有Griffin激光器都包括光谱带宽和中心波长的计算机控制以及水冷试验板,以实现较大的长期稳定性。Griffin系列中的选件包括集成泵浦激光器和诊断。Griffin激光器维护非常简单,因为组件易于接近。

  • Griffin-5 Ti:Sapphire振荡器 激光器模块和系统
    美国
    厂商:KM Labs, Inc.
    模式锁定电源: 550mW 脉冲持续时间: 12fs 重复频率: 80 - 95 MHz 脉冲能量: 15nJ 中心波长: 750 - 840 nm

    KMLabs Griffin™系列钛:蓝宝石振荡器为客户提供对其系统的较终控制,易于维护,并提供广泛的性能规格,支持许多不同的应用。这些基于棱镜的振荡器使用克尔透镜锁模来产生超短<12 FS脉冲。所有Griffin激光器都包括光谱带宽和中心波长的计算机控制以及水冷试验板,以实现较大的长期稳定性。Griffin系列中有包括集成泵浦激光器和诊断的选项。Griffin激光器维护非常简单,因为组件易于接近。

  • GSDL-445-300稳定的二极管激光器 半导体激光器
    美国
    厂商:MicroMaterials
    激光类型: Modulated 纤维类型: Multi-Mode 波长: 445nm 输出功率: 300mW 纤维芯直径: 200um

    GSDL-445-300是一个独立的交钥匙激光系统。它是一个光纤耦合的445nm半导体激光器,其光谱稳定在单模上,窄线宽为0.002nm。输出功率也稳定在300mW。8小时内的功率漂移小于0.3%,使其成为长期分析测量的理想激光器。

  • GT40A 4-kHz ArF准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 11.25mJ 平均功率: 45W 最大重复率: 4000Hz

    型号GT40A使用注入锁定谐振器(世界上先进个)作为光刻工具光源,以允许同时保持更窄的光谱带宽和更高的输出,这是传统技术难以实现的组合。此外,它提供了较低的峰值脉冲能量,减少了对光刻工具光学器件的损坏,从而实现了行业中较低的运行成本。型号GT40A还配备了新开发的高级自诊断功能,并大大提高了其可维护性,例如易于更换模块,以实现更高的可靠性和更长的正常运行时间。

  • GT60A 6 kHz准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    Gigaphoton公司开始批量生产GT40A不到一年,现已成功开发出GT60A,其重复率是GT40A的1.5倍。GT60A是较新一代型号,采用与GT40A相同的注入锁定平台,已被全球半导体行业的主要用户所接受。GT40A的设计理念和可靠性在业界广受好评,由于GT60A基于同一平台,较大限度地实现标准化,并能够使用通用组件,从而确保用户从一开始就实现高可靠性。

  • GT61A 6 kHz准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    在我们开始大规模生产和出货GT60A不到一年的时间里,Gigaphoton成功开发了GT61A。与GT60A相比,型号GT61A的光谱带宽提高了30%(E95%),激光室寿命更长,从而减少了停机时间和维护成本。GT61A是GT系列的第三代型号,采用了与GT40A和GT60A型号相同的注入锁定平台,这两个型号已经被全球半导体行业的主要用户所接受。GT系列的设计理念和可靠性在业界广受好评。由于基于相同的平台,GT61A较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件,从而确保用户从一开始就能实现高可靠性。

  • GT62A 6千赫兹准分子激光器60W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。

  • GT62A 6千赫兹准分子激光器90W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。

  • GT63A ArF准分子激光器60W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新车型GT63A是第五代车型,采用相同的注塑锁定平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在响应客户的需求,创造额外的价值:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进个客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;GT63A以其设计理念和高可靠性享誉全球,GT63A与之前的GT系列车型在同一平台上设计,以尽可能多地使用通用部件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。

  • GT63A ArF准分子激光器90W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新型号GT63A是第五代型号,采用相同的注锁平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在满足客户创造额外价值的需求:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;以其设计理念和高可靠性享誉全球。GT63A的设计平台与以前的GT系列型号相同,以便使用尽可能多的通用组件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。

  • GT64A ArF浸入式准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 20mJ 平均功率: 120W 最大重复率: 6000Hz

    GT64A提供业界较高的120W输出功率,具有高光束性能和稳定性。该产品的设计重点是性能、效率和减少环境影响,挑战总运营成本效率的极限。这是继承Gigaphoton的Timeless Injection Lock(TM)技术的第六代产品。基于GT平台著名的双腔架构、输出控制算法、光束对准技术,GT64A可提供120W的功率输出、卓越的光束性能和稳定性,以及业界一流的可靠性、恢复时间和模块寿命。

  • GT65A ArF准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 20mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    GT65A是使用注入锁定方法的第七代平台,安装了领先的技术,并通过可变光谱宽度(E95)带来的“曝光性能改进”和改进的稳定性、延长的模块寿命带来的“高可用性”以及无氦气带来的“降低的环境负荷”,为客户进一步提高了生产率(晶圆产量)。

  • Halcyon-10 Ti:Sapphire振荡器 激光器模块和系统
    美国
    厂商:KM Labs, Inc.
    模式锁定电源: 1400mW 脉冲持续时间: 25fs 重复频率: 75 - 102 MHz 脉冲能量: 15nJ 中心波长: 750 - 850 nm

    KMLabs Halcyon™重复率稳定振荡器在需要将振荡器激光脉冲与另一激光器或同步加速器的脉冲同步的客户中很受欢迎。Halcyon附带的电子设备将其输出锁定到客户的参考信号,并可提供小于150 FS的定时抖动。重复率的稳定是通过多个功能实现的,包括温度稳定试验板、用于粗反馈的电动平台、以及用于快速反馈的小型压电反射镜。KMLabs团队与每个Halcyon客户密切合作,以确保系统满足他们的特定需求。由于Halcyon™的灵活设计,它可以在非常宽的范围内锁定参考信号:75 MHz至4 GHz。

  • Halcyon-5 Ti:Sapphire振荡器 激光器模块和系统
    美国
    厂商:KM Labs, Inc.
    模式锁定电源: 550mW 脉冲持续时间: 12fs 重复频率: 75 - 102 MHz 脉冲能量: 15nJ 中心波长: 750 - 840 nm

    KMLabs Halcyon™重复率稳定振荡器在需要将振荡器激光脉冲与另一激光器或同步加速器的脉冲同步的客户中很受欢迎。Halcyon附带的电子设备将其输出锁定到客户的参考信号,并可提供小于150 FS的定时抖动。重复率的稳定是通过多个功能实现的,包括温度稳定试验板、用于粗反馈的电动平台、以及用于快速反馈的小型压电安装反射镜。KMLabs团队与每个Halcyon客户密切合作,以确保系统满足他们的特定需求。由于Halcyon™的灵活设计,它可以在非常宽的范围内锁定参考信号:75 MHz至4 GHz。