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中心波长: 0.515um 输出功率: 50mW
CWA.L系列激光器是高度稳定、温度稳定的二极管激光器,适用于机器、设备和仪器的OEM应用。由于其智能激光控制器具有RS-232接口,这些激光器可以无缝集成到应用程序和控制器中。通过标准化命令行界面(CLI),您可以随时完全控制激光器的所有参数,例如激光二极管温度、激光功率和电流、操作模式等。高精度温度稳定至<0.02°K的较大二极管温度变化,以及激光二极管的稳定电源,可实现极高的功率稳定性和极低的噪声水平。根据工业标准,该系统由一个激光头和一个激光控制器组成,安装在EMC屏蔽的模块化外壳中,电源电压输入为24 V DC。集成的调制输入支持高达1 kHz的模拟功率调制和高达10 kHz的TTL调制,可集成到控制和测量过程中。与BluePhoton®和RedPhoton®系列的所有激光器一样,通过使用模块化原理,激光头可以非常简单地适应客户的规格。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz
在我们开始大规模生产和出货GT60A不到一年的时间里,Gigaphoton成功开发了GT61A。与GT60A相比,型号GT61A的光谱带宽提高了30%(E95%),激光室寿命更长,从而减少了停机时间和维护成本。GT61A是GT系列的第三代型号,采用了与GT40A和GT60A型号相同的注入锁定平台,这两个型号已经被全球半导体行业的主要用户所接受。GT系列的设计理念和可靠性在业界广受好评。由于基于相同的平台,GT61A较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件,从而确保用户从一开始就能实现高可靠性。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新车型GT63A是第五代车型,采用相同的注塑锁定平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在响应客户的需求,创造额外的价值:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进个客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;GT63A以其设计理念和高可靠性享誉全球,GT63A与之前的GT系列车型在同一平台上设计,以尽可能多地使用通用部件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新型号GT63A是第五代型号,采用相同的注锁平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在满足客户创造额外价值的需求:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;以其设计理念和高可靠性享誉全球。GT63A的设计平台与以前的GT系列型号相同,以便使用尽可能多的通用组件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。
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镜头类型: Positive 材料: H-K9L 尺寸: 20mm 焦距: 50mm
平凸柱面透镜非常适合需要一维放大的应用。当球面透镜在两个维度上对称地作用于入射光线时,柱面透镜以相同的方式作用,但仅在一个维度上作用。典型的应用是使用一对柱面透镜来提供光束的变形整形。一对正柱面透镜可用于准直和圆化激光二极管的输出。另一种可能的应用是使用单个透镜将发散光束聚焦到检测器阵列上。为了较大限度地减少球面像差的引入,当将准直光聚焦成线时,准直光应入射在曲面上,而当准直时,来自线光源的光应入射在普莱诺表面上。F=R/(n-1),其中n是折射率,R1,R2是透镜每个表面的曲率半径。它们也可以涂有MgF2以保护表面,或者涂有AR涂层以增加透射率。