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反射率(%): 50 % 透射率(%): 50 % 分束器厚度: 2 mm 分束器直径: 12.7 mm
这些通用型板式分束器的使用角度为 45°。我们的平板分光镜可用于可见光、近红外和电信应用。我们备有用于可见光应用(如成像)的 50/50 板式分光镜和 70/30 板式分光镜,以及用于近红外应用(如医疗、激光应用和干涉仪)的 50/50 板式分光镜。 分束器多层介质涂层沉积在具有较好平整度和表面质量的标准白浮法玻璃上。所有通用级分束器的背面都有一层多层宽带抗反射涂层,以消除二次反射问题。 奈特光学的平板分光镜有 1 毫米和 3 毫米两种厚度。1 毫米厚的分光镜适用于对紧凑性和重量有要求的场合。所用的白色浮法玻璃可避免强烈的红外吸收,因此在近红外板式分束器中特别有用。
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反射率(%): 33 % 透射率(%): 67 % 分束器厚度: 1.1 mm 分束器直径: 2.5 mm
这些通用型板式分束器的使用角度为 45°。我们的平板分束器可用于可见光、近红外和电信应用。我们备有用于可见光应用(如成像)的 50/50 板式分光镜和 70/30 板式分束器,以及用于近红外应用(如医疗、激光应用和干涉仪)的 50/50 板式分光镜。 分束器多层介质涂层沉积在具有较好平整度和表面质量的标准白浮法玻璃上。所有通用级分束器的背面都有一层多层宽带抗反射涂层,以消除二次反射问题。 奈特光学的平板分束器有 1 毫米和 3 毫米两种厚度。1 毫米厚的分束器适用于对紧凑性和重量有要求的场合。所用的白色浮法玻璃可避免强烈的红外吸收,因此在近红外板式分光镜中特别有用。
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波长: 193 nm 功率: 60-90 W
先进产品制造目前仍继续应用摩尔定律,技术节点日益微细化。这些尖端产品对转印到晶圆上的曝光图案、特别是EPE(Edge Placement Error)具有很高的要求。作为光源通过降低直接影响EPE的CD LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness),为提高批量生产现场的成品率提供帮助。 新型浸没式曝光光源“GT66A”通过新开发的光学模块成功地将散斑对比度降低30%,减少了LER/LWR。还通过引入新的高度耐用零件,将模块的维护周期延长30%。由此实现进一步改善工序成品率、提高光源的可用性,为尖端节点批量生产的高生产性提供帮助。
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重量: 295 kg 冷却方式: Optional air cooling up to 25 Hz repetition rates Water cooling at higher repetition rates
世界各地的顶尖研发科学家都在使用 LightMachinery 准分子激光器。 IPEX-700 系列激光器专为工业和研发环境中的中等工作周期操作而设计,具有高功率紫外激光加工和最先进的性能。IPEX 激光器采用 LightMachinery 的 exciPure™ 专利技术,具有超长的气体寿命、卓越的光学稳定性和精确的激光操作参数控制。 性能提高 10 倍、功能强大、可靠、结构紧凑、操作简单 操作准分子激光器的最大成本是激光气体消耗量(也称为动态气体寿命*)。 凭借我们的 exciPure™ 专利技术,LightMachinery 的气体使用量比同类激光器提高了 10 倍。 这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。
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重量: 380-400 kg 冷却方式: 8X8 / 8X6 models:10 liters / minute, 5°- 20°C, 40- 60 psig;8X4 / 8X2 models:5 liters / minute, 5°- 20°C, 40- 60 psig
IPEX 系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计,可提供高功率紫外激光加工,并具有先进的性能。 IPEX 激光器采用 LightMachinery 的 exciPure™ 技术,具有超长的气体寿命、卓越的光学稳定性和精确的激光器运行参数控制。 准分子激光器最大的运行成本是激光气体消耗量(也称为动态气体寿命*)。凭借exciPure™ 技术,LightMachinery 已将气体使用量提高到同类激光器的 10 倍。 这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。 安装在光学器件端口的 EasyClean 自动阀门可以密封激光器腔体,并在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充。IPEX-800 激光器使用方便、维护简单、运行经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和最长的正常运行时间相结合。
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重量: 100-101 kg
LightMachinery的LaserMark 950和960系列激光器提供了一种快速、可靠的方法,用于在消费品包装和电子元件上打上高质量的永久性标记,例如日期和批次代码。这些脉冲 CO2 激光器可以在不到 1 微秒的时间内完成整个打标过程,因此可以 "即时 "完成打标,而不会出现其他类型的激光打标可能出现的标记涂抹或退化现象。 LaserMark 激光设备可以在多种材料上打标,包括涂有油墨的纸张和卡片、箔片、涂漆或阳极氧化金属、玻璃以及多种类型的塑料。LaserMark 系列产品在生产环境中操作简便,可靠性极高,正常运行时间长。固态 SSM 高压调制器和超低气体流量确保了最低的耗材和维护成本。LaserMark 960SSM 系列密封符合 NEMA 12 标准,适用于一般用途。对于要求更高的操作,950SSM 系列符合 NEMA 4 标准,可直接使用高压软管。
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波长: 450 – 530nm; 630 – 1620nm 光束直径: Typically 0.6 x 0.3mm; diode-dependent 冷却方式: Water cooling connections optional (usually not required) 调制频率: 20MHz bandwidth, AC or DC coupled, <20ns phase delay RF bias tee option: >2.5GHz bandwidth
MOGLabs 的猫眼二极管激光器为外腔二极管激光器带来了新的变化。猫眼反射器和超窄滤光片取代了传统 Littrow 和 Littman-Metcalf 设计中对准敏感的衍射光栅。
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波长: 368-1612 nm 光束直径: Typically 1mm x 2mm to 1.5mm x 4mm; diode-dependent 冷却方式: Water cooling connections optional (usually not required) 调制频率: 20MHz bandwidth, AC or DC coupled, 20ns latency RF bias tee option: >2.5GHz bandwidth
我们的增强型 Littrow 配置扩展腔二极管激光器采用单体式底盘。没有螺旋弹簧振动。该激光器由一整块铝合金加工而成,结构紧凑、坚固、稳定。精确、可重复的垂直对准和光栅旋转是解耦的,这样就可以通过二极管增益曲线调整几十纳米的波长,而无需重新对准。较长波长的线宽低于 100kHz,蓝色波长的线宽通常为 200kHz。LDL 激光器专为波长为 370nm 至 500nm 的波长而设计,密封性好,可减少外部气压变化的影响。
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波长: 630-1064 nm 光束直径: Typically 1.8 x 3.0 mm, wavelength dependent 功率: 250mW, 500mW, 1W, 2W, 3W and 4W options, wavelength dependent 激光头尺寸: 300 x155 x93mm (LxWxH) 冷却方式: Quick-fit water cooling, φ 6mm
MOGLabs 的 MSA 系列放大激光器是一种紧凑、坚固、稳定的系统,集成了种子激光器和锥形放大二极管,可提供高达 4W 的光输出。 输入和输出耦合透镜采用线切割挠性安装设计,具有出色的无源稳定性,并便于用户在 TA 芯片达到使用寿命后进行更换。 可使用多种隔离器,包括孔径为 4 毫米的紧凑型隔离器和孔径为 5 毫米的双级隔离器。 MSA 种子放大器使用 MOGLabs 独特的固有自对准猫眼激光器,具有极低的频率漂移和优秀的无源线宽。
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波长: 630-1064 nm 光束直径: Typically 1.8 x 3.0 mm, wavelength dependent 功率: 250mW, 500mW, 1W, 2W, 3W and 4W options, wavelength dependent 激光头尺寸: 300 x155 x93mm (LxWxH) 冷却方式: Quick-fit water cooling, φ 6mm
有三种型号可供选择。全尺寸 MOA 具有 MSA 的所有功能,包括在输入和输出端提供单级或双级隔离器,以及自由空间或光纤耦合输入和输出。MOA-L 是一种精简机箱,适用于输入端不需要隔离器的情况。MOA-C 非常紧凑,适合自己动手的研究人员,不提供内部隔离器。 所有三个版本都采用了与 MSA 系统相同的线切割挠性安装,用于输入和输出耦合透镜,以提供出色的被动稳定性,并在必要时方便用户更换 TA 二极管。通过使用精心设计的光学器件,MOGLabs 实现了极高的耦合效率,根据波长和输出功率的不同,种子输入功率可能只有几毫瓦。 对于 MOA 和 MOA-L,输出可分为两束,一束为自由空间光,另一束为自由空间光或光纤耦合光。
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波长: 370-530 nm 光束直径: Typically 1.8 x 3.0 mm, wavelength dependent 功率: 100mW to 1W, wavelength dependent 激光头尺寸: 300 x155 x93mm (LxWxH) 冷却方式: Quick-fit water cooling, φ 6mm
MOGLabs 已开发出用于稳定法布里-珀罗 (FP) 激光二极管注入锁定的新技术。注入锁定历来受到环境漂移极端敏感性的困扰:温度、对准或电流的微小变化都可能导致放大器二极管偏离锁定。我们开发了一种自动跟踪系统,可持续监控激光器并对放大器二极管进行微小调整,以保持锁定。
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电源稳定性: 2% RMS 波长: 1060 – 1090nm, 6 W 1550 – 1570nm, 18 W 775 – 785nm, > 4 W (via SHG) 工作温度: 20 ± 10 °C 功率: 500 mW to 20 W (wavelength dependent) 激光头尺寸: 422 x 88.5 x 400 (WxHxD), 7kg
MOGLabs MFE 是基于掺铒和掺镱有源光纤的模块化高功率光纤放大器系统。 它使用内部或外部种子激光器和多达三个放大级,输出功率从 500 mW 到 20 W。 掺镱有源光纤的工作波长范围为 1000 至 1100 nm,掺铒有源光纤的工作波长范围为 1530 至 1610 nm。 外部二次谐波发生(SHG)模块可通过标准 USB-C 电缆直接连接到放大器。 目前可用的波长和峰值功率 1060 - 1090nm, 6 W 1550 - 1570 纳米,18 W 775 - 785 纳米,4.3 W(通过 SHG)